Ir-raġunijiet ewlenin li jaffettwaw l-uniformità tar-reżistività radjali ta 'kristalli singoli huma l-flatness ta' l-interface solidu-likwidu u l-effett pjan żgħir matul it-tkabbir tal-kristall
L-influwenza tal-flatness tal-interface solidu-likwidu Waqt it-tkabbir tal-kristall, jekk it-tidwib jitħawwad b'mod uniformi, il-wiċċ ta 'reżistenza ugwali huwa l-interface solidu-likwidu (il-konċentrazzjoni tal-impurità fit-tidwib hija differenti mill-konċentrazzjoni tal-impurità fil-kristall, għalhekk ir-reżistenza hija differenti, u r-reżistenza hija ugwali biss fl-interface solidu-likwidu). Meta l-impurità K<1, l-interface konvessa għat-tidwib se tikkawża li r-reżistività radjali tkun għolja fin-nofs u baxxa fit-tarf, filwaqt li l-interface konkavi għat-tidwib huwa l-oppost. L-uniformità tar-reżistenza radjali tal-interface ċatt solidu-likwidu hija aħjar. Il-forma tal-interface solidu-likwidu waqt il-ġbid tal-kristall hija determinata minn fatturi bħad-distribuzzjoni tal-kamp termali u l-parametri operattivi tat-tkabbir tal-kristall. Fil-kristall wieħed straight-pulled, il-forma tal-wiċċ solidu-likwidu hija r-riżultat tal-effett magħqud ta 'fatturi bħad-distribuzzjoni tat-temperatura tal-forn u d-dissipazzjoni tas-sħana tal-kristall.
Meta tiġbed il-kristalli, hemm erba 'tipi ewlenin ta' skambju tas-sħana fl-interface solidu-likwidu:
Sħana moħbija tal-bidla tal-fażi rilaxxata mis-solidifikazzjoni tas-silikon imdewweb
Konduzzjoni tas-sħana tat-tidwib
Konduzzjoni tas-sħana 'l fuq permezz tal-kristall
Is-sħana tar-radjazzjoni 'l barra minn ġol-kristall
Is-sħana moħbija hija uniformi għall-interface kollu, u d-daqs tagħha ma jinbidilx meta r-rata tat-tkabbir tkun kostanti. (Konduzzjoni mgħaġġla tas-sħana, tkessiħ mgħaġġel, u rata ta 'solidifikazzjoni miżjuda)
Meta r-ras tal-kristall li qed tikber tkun qrib il-virga tal-kristall taż-żerriegħa mkessħa bl-ilma tal-forn tal-kristall wieħed, il-gradjent tat-temperatura fil-kristall huwa kbir, li jagħmel il-konduzzjoni tas-sħana lonġitudinali tal-kristall akbar mis-sħana tar-radjazzjoni tal-wiċċ, għalhekk il- interface solidu-likwidu konvessi għat-tidwib.
Meta l-kristall jikber fin-nofs, il-konduzzjoni tas-sħana lonġitudinali hija ugwali għas-sħana tar-radjazzjoni tal-wiċċ, għalhekk l-interface hija dritta.
Fid-denb tal-kristall, il-konduzzjoni tas-sħana lonġitudinali hija inqas mis-sħana tar-radjazzjoni tal-wiċċ, li tagħmel l-interface solidu-likwidu konkavi għat-tidwib.
Sabiex tikseb kristall wieħed b'reżistività radjali uniformi, l-interface solidu-likwidu għandu jkun livellat.
Il-metodi użati huma: ①Aġġusta s-sistema termali tat-tkabbir tal-kristall biex tnaqqas il-gradjent tat-temperatura radjali tal-kamp termali.
②Aġġusta l-parametri tal-operazzjoni tal-ġbid tal-kristall. Per eżempju, għal interface konvessi għat-tidwib, żid il-veloċità tal-ġbid biex iżżid ir-rata ta 'solidifikazzjoni tal-kristall. F'dan iż-żmien, minħabba ż-żieda fis-sħana moħbija tal-kristallizzazzjoni rilaxxata fuq l-interface, it-temperatura tat-tidwib ħdejn l-interface tiżdied, li tirriżulta fit-tidwib ta 'parti tal-kristall fl-interface, li tagħmel l-interface ċatta. Għall-kuntrarju, jekk l-interface tat-tkabbir hija konkava lejn it-tidwib, ir-rata tat-tkabbir tista 'titnaqqas, u t-tidwib jissolidifika volum korrispondenti, u jagħmel l-interface tat-tkabbir ċatt.
③ Aġġusta l-veloċità tar-rotazzjoni tal-kristall jew griġjol. Iż-żieda tal-veloċità tar-rotazzjoni tal-kristall se żżid il-fluss tal-likwidu b'temperatura għolja li jiċċaqlaq minn isfel għal fuq fl-interface solidu-likwidu, u b'hekk l-interface tinbidel minn konvessi għal konkavi. Id-direzzjoni tal-fluss tal-likwidu kkawżat mir-rotazzjoni tal-griġjol hija l-istess bħal dik tal-konvezzjoni naturali, u l-effett huwa kompletament oppost għal dak tar-rotazzjoni tal-kristall.
④ Iż-żieda tal-proporzjon tad-dijametru ta 'ġewwa tal-griġjol mad-dijametru tal-kristall se ċċattja l-interface solidu-likwidu, u tista' wkoll tnaqqas id-densità tad-dislokazzjoni u l-kontenut ta 'ossiġnu fil-kristall. Ġeneralment, id-dijametru tal-griġjol: dijametru tal-kristall = 3 ~ 2.5:1.
Influwenza tal-effett tal-pjan żgħir
L-interface solidu-likwidu tat-tkabbir tal-kristall huwa spiss mgħawweġ minħabba l-limitazzjoni tal-isoterma tat-tidwib fil-griġjol. Jekk il-kristall jitneħħa malajr waqt it-tkabbir tal-kristall, pjan ċatt żgħir se jidher fl-interface solidu-likwidu tal-kristalli singoli tal-ġermanju (111) u tas-silikon. Huwa l-pjan atomiku ippakkjat mill-qrib (111), normalment imsejjaħ pjan żgħir.
Il-konċentrazzjoni tal-impurità fiż-żona tal-pjan żgħir hija differenti ħafna minn dik fiż-żona tal-pjan mhux żgħir. Dan il-fenomenu ta 'distribuzzjoni anormali ta' impuritajiet fiż-żona tal-pjan żgħir jissejjaħ l-effett tal-pjan żgħir.
Minħabba l-effett tal-pjan żgħir, ir-reżistività taż-żona tal-pjan żgħir se tonqos, u f'każijiet severi, se jidhru qlub tal-pajpijiet tal-impurità. Sabiex tiġi eliminata n-nuqqas ta 'omoġeneità tar-reżistenza radjali kkawżata mill-effett tal-pjan żgħir, l-interface solidu-likwidu jeħtieġ li jiġi livellat.
Merħba kwalunkwe klijenti minn madwar id-dinja biex iżuruna għal diskussjoni ulterjuri!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Ħin tal-post: Lulju-24-2024