Fit-tagħmir tal-inċiżjoni tal-plażma, il-komponenti taċ-ċeramika għandhom rwol kruċjali, inkluż il-ċirku tal-fokus.Il- ċirku tal-fokus, imqiegħda madwar il-wejfer u f'kuntatt dirett magħha, hija essenzjali biex tiffoka l-plażma fuq il-wejfer billi tapplika vultaġġ għaċ-ċirku. Dan isaħħaħ l-uniformità tal-proċess ta 'inċiżjoni.
Applikazzjoni ta 'SiC Focus Rings fil-Magni tal-Inċiżjoni
Komponenti SiC CVDf'magni tal-inċiżjoni, bħalċrieki tal-fokus, doċċa tal-gass, platens, u ċrieki tat-tarf, huma favoriti minħabba r-reattività baxxa tas-SiC mal-gassijiet tal-inċiżjoni bbażati fuq il-klorin u l-fluworin u l-konduttività tiegħu, li jagħmilha materjal ideali għat-tagħmir tal-inċiżjoni tal-plażma.
Vantaġġi ta 'SiC bħala Materjal Ċirku Focus
Minħabba l-espożizzjoni diretta għall-plażma fil-kamra tar-reazzjoni tal-vakwu, iċ-ċrieki tal-fokus jeħtieġ li jkunu magħmula minn materjali reżistenti għall-plażma. Ċrieki ta 'fokus tradizzjonali, magħmulin minn silikon jew kwarz, isofru minn reżistenza fqira ta' inċiżjoni fi plażmi bbażati fuq il-fluworin, li jwasslu għal korrużjoni rapida u effiċjenza mnaqqsa.
Tqabbil Bejn Si u CVD SiC Focus Rings:
1. Densità Ogħla:Inaqqas il-volum tal-inċiżjoni.
2. Wide Bandgap: Jipprovdi insulazzjoni eċċellenti.
3. Konduttività Termali Għolja u Koeffiċjent ta 'Espansjoni Baxxa: Reżistenti għal xokk termali.
4. Elastiċità Għolja:Reżistenza tajba għall-impatt mekkaniku.
5. Ebusija Għolja: Ilbes u reżistenti għall-korrużjoni.
SiC jaqsam il-konduttività elettrika tas-silikon filwaqt li joffri reżistenza superjuri għall-inċiżjoni jonika. Hekk kif il-minjaturizzazzjoni taċ-ċirkwit integrat timxi 'l quddiem, id-domanda għal proċessi ta' inċiżjoni aktar effiċjenti tiżdied. Tagħmir ta 'inċiżjoni tal-plażma, speċjalment dawk li jużaw plażma akkoppjat abilità (CCP), jeħtieġu enerġija għolja fil-plażma, teħidĊrieki tal-fokus tas-SiCdejjem aktar popolari.
Parametri taċ-ċirku ta' fokus Si u CVD SiC:
| Parametru | Silikon (Si) | CVD Karbur tas-Silikon (SiC) |
| Densità (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Konduttività Termali (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Modulu Elastiku (GPa) | 150 | 440 |
| Ebusija | T'isfel | Ogħla |
Proċess ta 'Manifattura ta' SiC Focus Rings
Fit-tagħmir tas-semikondutturi, CVD (Deposizzjoni tal-Fwar Kimiku) huwa komunement użat biex jipproduċi komponenti SiC. Iċ-ċrieki tal-fokus huma manifatturati billi jiġi depożitat SiC f'forom speċifiċi permezz ta 'depożizzjoni tal-fwar, segwit minn proċessar mekkaniku biex jifforma l-prodott finali. Il-proporzjon tal-materjal għad-depożizzjoni tal-fwar huwa ffissat wara esperimentazzjoni estensiva, u jagħmel parametri bħar-reżistività konsistenti. Madankollu, tagħmir ta 'inċiżjoni differenti jista' jeħtieġ ċrieki ta 'fokus b'reżistivitajiet li jvarjaw, li jeħtieġu esperimenti ġodda ta' proporzjon ta 'materjal għal kull speċifikazzjoni, li jieħu ħafna ħin u jiswa ħafna flus.
Billi tagħżelĊrieki tal-fokus tas-SiCminnSemicera Semikondutturi, il-klijenti jistgħu jiksbu l-benefiċċji ta 'ċikli ta' sostituzzjoni itwal u prestazzjoni superjuri mingħajr żieda sostanzjali fl-ispiża.
Komponenti ta' Ipproċessar Termali Rapidu (RTP).
Il-proprjetajiet termali eċċezzjonali ta 'CVD SiC jagħmluha ideali għal applikazzjonijiet RTP. Il-komponenti RTP, inklużi ċrieki tat-tarf u platens, jibbenefikaw minn CVD SiC. Matul RTP, impulsi ta 'sħana intensa huma applikati għal wejfers individwali għal tul ta' żmien qasir, segwit minn tkessiħ rapidu. Ċrieki tat-tarf CVD SiC, li huma rqaq u li għandhom massa termali baxxa, ma jżommux sħana sinifikanti, u jagħmluhom mhux affettwati minn proċessi rapidi ta 'tisħin u tkessiħ.
Komponenti tal-inċiżjoni tal-plażma
Ir-reżistenza kimika għolja ta 'CVD SiC tagħmilha adattata għal applikazzjonijiet ta' inċiżjoni. Ħafna kmamar tal-inċiżjoni jużaw pjanċi tad-distribuzzjoni tal-gass CVD SiC biex iqassmu gassijiet tal-inċiżjoni, li fihom eluf ta 'toqob ċkejkna għat-tixrid tal-plażma. Meta mqabbel ma 'materjali alternattivi, CVD SiC għandu reattività aktar baxxa mal-gassijiet tal-kloru u tal-fluworin. Fl-inċiżjoni niexfa, komponenti CVD SiC bħal ċrieki tal-fokus, platens ICP, ċrieki tal-konfini, u showerheads huma komunement użati.
Ċrieki ta 'fokus SiC, bil-vultaġġ applikat tagħhom għall-iffukar tal-plażma, għandu jkollhom konduttività suffiċjenti. Tipikament magħmul minn silikon, ċrieki ta 'fokus huma esposti għal gassijiet reattivi li fihom fluworin u klorin, li jwasslu għal korrużjoni inevitabbli. Ċrieki ta 'fokus tas-SiC, bir-reżistenza superjuri għall-korrużjoni tagħhom, joffru ħajja itwal meta mqabbla ma' ċrieki tas-silikon.
Tqabbil taċ-ċiklu tal-ħajja:
· SiC Focus Rings:Mibdul kull 15 sa 20 jum.
· Ċrieki tal-Focus tas-Silikon:Mibdul kull 10 sa 12-il jum.
Minkejja li ċrieki tas-SiC huma 2 sa 3 darbiet aktar għaljin minn ċrieki tas-silikon, iċ-ċiklu ta 'sostituzzjoni estiż inaqqas l-ispejjeż ġenerali ta' sostituzzjoni tal-komponenti, peress li l-partijiet kollha tal-ilbies fil-kamra jiġu sostitwiti simultanjament meta l-kamra tinfetaħ għas-sostituzzjoni taċ-ċirku tal-fokus.
Semicera Semiconductor's SiC Focus Rings
Semicera Semiconductor joffri ċrieki ta 'fokus SiC bi prezzijiet qrib dawk ta' ċrieki tas-silikon, b'ħin ta 'madwar 30 jum. Bl-integrazzjoni taċ-ċrieki tal-fokus SiC ta 'Semicera fit-tagħmir tal-inċiżjoni tal-plażma, l-effiċjenza u l-lonġevità huma mtejba b'mod sinifikanti, inaqqsu l-ispejjeż ġenerali tal-manutenzjoni u jtejbu l-effiċjenza tal-produzzjoni. Barra minn hekk, Semicera jista 'jippersonalizza r-reżistenza taċ-ċrieki tal-fokus biex jissodisfa r-rekwiżiti speċifiċi tal-klijent.
Billi jagħżlu ċrieki ta 'fokus SiC minn Semicera Semiconductor, il-klijenti jistgħu jiksbu l-benefiċċji ta' ċikli ta 'sostituzzjoni itwal u prestazzjoni superjuri mingħajr żieda sostanzjali fl-ispiża.
Ħin tal-post: Lulju-10-2024