Kif nipproduċu l-passi tal-ipproċessar għas-sottostrati tas-SiC huma kif ġej:
1. Orjentazzjoni tal-kristall:
Bl-użu tad-diffrazzjoni tar-raġġi X biex jorjentaw l-ingott tal-kristall. Meta raġġ tar-raġġi X huwa dirett lejn il-wiċċ tal-kristall mixtieq, l-angolu tar-raġġ diffrattat jiddetermina l-orjentazzjoni tal-kristall.
2. Tħin tad-dijametru ta 'barra:
Kristalli singoli mkabbra fi griġjoli tal-grafita ħafna drabi jaqbżu d-dijametri standard. It-tħin tad-dijametru ta 'barra jnaqqashom għal daqsijiet standard.
3.Tmiem Face Tħin:
Substrati 4H-SiC ta '4 pulzieri tipikament għandhom żewġ truf ta' pożizzjonament, primarji u sekondarji. It-tħin tal-wiċċ tat-tarf jiftaħ dawn it-truf tal-ippożizzjonar.
4. Serrar tal-Wajer:
Is-serrar tal-wajer huwa pass kruċjali fl-ipproċessar ta 'sottostrati 4H-SiC. Xquq u ħsara taħt il-wiċċ ikkawżati waqt is-serrar tal-wajer għandhom impatt negattiv fuq il-proċessi sussegwenti, jestendu l-ħin tal-ipproċessar u jikkawżaw telf ta 'materjal. L-aktar metodu komuni huwa serrar b'ħafna wajers b'abrażiv tad-djamanti. Mozzjoni reċiproka ta 'wajers tal-metall magħqudin ma' abrażivi tad-djamanti tintuża biex tnaqqas l-ingott 4H-SiC.
5. Ċanfrin:
Biex tevita t-tixlif tat-tarf u tnaqqas it-telf konsumabbli matul il-proċessi sussegwenti, it-truf li jaqtgħu taċ-ċipep isserrat bil-wajer huma ċanfrinati għal forom speċifikati.
6. Tnaqqija:
Is-serrar tal-wajer iħalli ħafna grif u ħsarat taħt il-wiċċ. It-tnaqqija ssir bl-użu ta 'roti tad-djamanti biex jitneħħew dawn id-difetti kemm jista' jkun.
7. Tħin:
Dan il-proċess jinkludi tħin mhux maħdum u tħin fin bl-użu ta 'karbur tal-boron ta' daqs iżgħar jew abrasivi tad-djamanti biex jitneħħew ħsarat residwi u ħsarat ġodda introdotti waqt it-traqqija.
8. Illustrar:
Il-passi finali jinvolvu illustrar mhux maħdum u illustrar fin bl-użu ta 'alumina jew abrażivi ta' ossidu tas-silikon. Il-likwidu tal-illustrar irattab il-wiċċ, li mbagħad jitneħħa mekkanikament minn barraxi. Dan il-pass jiżgura wiċċ lixx u bla ħsara.
9. Tindif:
It-tneħħija ta 'partiċelli, metalli, films ta' ossidu, residwi organiċi, u kontaminanti oħra li jitħallew mill-passi tal-ipproċessar.
Ħin tal-post: Mejju-15-2024