X'inhi l-epitassija?

Ħafna inġiniera mhumiex familjari magħhomepitassija, li għandu rwol importanti fil-manifattura ta 'apparat semikonduttur.Epitassijajistgħu jintużaw fi prodotti ċippa differenti, u prodotti differenti għandhom tipi differenti ta ' epitaxy, inklużSi epitassija, epitassija tas-SiC, epitassija GaN, eċċ.

X'inhi l-epitassija?
Epitaxy spiss tissejjaħ "Epitaxy" bl-Ingliż. Il-kelma ġejja mill-kliem Grieg “epi” (li jfisser “fuq”) u “taxis” (li jfisser “arranġament”). Kif jissuġġerixxi l-isem, dan ifisser li tirranġa pulit fuq oġġett. Il-proċess tal-epitassija huwa li jiddepożita saff irqiq ta 'kristall wieħed fuq sottostrat ta' kristall wieħed. Dan is-saff tal-kristall wieħed li għadu kif ġie depożitat jissejjaħ saff epitassjali.

Hemm żewġ tipi ewlenin ta 'epitassija: omoepitaxjali u eteroepitassjali. Homoepitaxial tirreferi għat-tkabbir tal-istess materjal fuq l-istess tip ta 'sottostrat. Is-saff epitassjali u s-sottostrat għandhom eżattament l-istess struttura tal-kannizzata. Eteroepitassija hija t-tkabbir ta 'materjal ieħor fuq sottostrat ta' materjal wieħed. F'dan il-każ, l-istruttura tal-kannizzata tas-saff tal-kristall imkabbar b'mod epitassjali u s-sottostrat jistgħu jkunu differenti. X'inhuma kristalli singoli u polikristallini?
Fis-semikondutturi, ħafna drabi nisimgħu t-termini silikon kristall wieħed u silikon polikristallin. Għaliex xi silikon jissejħu kristalli singoli u xi silikon jissejħu polikristallin?

Kristall wieħed: L-arranġament tal-kannizzata huwa kontinwu u mhux mibdul, mingħajr konfini tal-qamħ, jiġifieri, il-kristall kollu huwa magħmul minn kannizzata waħda b'orjentazzjoni konsistenti tal-kristall. Polikristallin: Polikristallin huwa magħmul minn ħafna ħbub żgħar, li kull wieħed minnhom huwa kristall wieħed, u l-orjentazzjonijiet tagħhom huma każwali fir-rigward ta 'xulxin. Dawn il-ħbub huma separati minn konfini tal-qamħ. L-ispiża tal-produzzjoni ta 'materjali polikristallini hija aktar baxxa minn dik ta' kristalli singoli, għalhekk għadhom utli f'xi applikazzjonijiet. Fejn se jkun involut il-proċess epitassjali?
Fil-manifattura ta 'ċirkwiti integrati bbażati fuq is-silikon, il-proċess epitassjali huwa użat ħafna. Pereżempju, l-epitassija tas-silikon tintuża biex tikber saff tas-silikon pur u kkontrollat ​​b'mod fin fuq sottostrat tas-silikon, li huwa estremament importanti għall-manifattura ta 'ċirkwiti integrati avvanzati. Barra minn hekk, f'apparat ta 'enerġija, SiC u GaN huma żewġ materjali semikondutturi ta' bandgap wiesgħa użati b'mod komuni b'kapaċitajiet eċċellenti għall-immaniġġjar tal-enerġija. Dawn il-materjali huma ġeneralment imkabbra fuq silikon jew substrati oħra permezz ta 'epitaxi. Fil-komunikazzjoni quantum, il-bits quantum ibbażati fuq semikondutturi normalment jużaw strutturi epitassjali tal-ġermanju tas-silikon. Eċċ.

Metodi ta 'tkabbir epitassjali?

Tliet metodi ta' epitassi semikondutturi użati b'mod komuni:

Epitassija tar-raġġ molekulari (MBE): Epitassi tar-raġġ molekulari) hija teknoloġija ta 'tkabbir epitassjali semikondutturi mwettqa taħt kundizzjonijiet ta' vakwu ultra-għoli. F'din it-teknoloġija, il-materjal tas-sors jiġi evaporat fil-forma ta 'atomi jew travi molekulari u mbagħad depożitat fuq sottostrat kristallin. MBE hija teknoloġija ta 'tkabbir ta' film irqiq semikonduttur preċiż ħafna u kontrollabbli li tista 'tikkontrolla b'mod preċiż il-ħxuna tal-materjal depożitat fil-livell atomiku.

CVD organiku tal-metall (MOCVD): Fil-proċess MOCVD, metalli organiċi u gassijiet tal-idrur li fihom l-elementi meħtieġa huma fornuti lis-sottostrat f'temperatura xierqa, u l-materjali semikondutturi meħtieġa huma ġġenerati permezz ta 'reazzjonijiet kimiċi u depożitati fuq is-sottostrat, filwaqt li l-bqija. il-komposti u l-prodotti tar-reazzjoni jiġu skarikati.

Epitassi tal-Fażi tal-Fwar (VPE): Epitassi tal-Fażi tal-Fwar hija teknoloġija importanti li tintuża komunement fil-produzzjoni ta 'apparat semikonduttur. Il-prinċipju bażiku tiegħu huwa li jittrasporta l-fwar ta 'sustanza waħda jew kompost f'gass trasportatur u jiddepożita kristalli fuq sottostrat permezz ta' reazzjonijiet kimiċi.