Il-MOCVDmetodu huwa wieħed mill-proċessi l-aktar stabbli attwalment użati fl-industrija biex jikbru kwalità għolja films irqiq kristallin wieħed, bħal epilayers InGaN ta 'fażi waħda, materjali III-N, u films semikondutturi bi strutturi multi quantum well, u huwa ta' sinifikat kbir fil- manifattura ta' apparat semikonduttur u optoelettroniku.
Il-SiC kisi MOCVD susceptorhuwa detentur tal-wejfer speċjalizzat miksi bil-karbur tas-silikon (SiC) għalepitassjali tkabbir fil-proċess ta' depożizzjoni ta' fwar kimiku organiku tal-metall (MOCVD).
Il-kisi tas-SiC għandu reżistenza kimika eċċellenti u stabbiltà termali, li jagħmilha għażla ideali għal susceptors MOCVD użati fi proċessi ta 'tkabbir epitassjali eżiġenti.
Komponent ewlieni tal-proċess MOCVD huwa s-susceptor, li huwa element ewlieni biex jiżgura l-uniformità u l-kwalità tal-films irqaq prodotti.
X'inhu susceptor? Is-susceptor huwa komponent speċjalizzat użat fil-proċess MOCVD biex isostni u jsaħħan is-sottostrat li fuqu jiġi depożitat il-film irqiq. Għandu funzjonijiet multipli, inkluż li jassorbi l-enerġija elettromanjetika, jikkonvertiha fis-sħana, u jqassam indaqs is-sħana fuq is-sottostrat. Dan it-tisħin uniformi huwa essenzjali għat-tkabbir ta 'films irqaq uniformi bi ħxuna u kompożizzjoni preċiżi.
Tipi ta' susċetturi:
1. Susceptors tal-grafita: Is-susċetturi tal-grafita ħafna drabi huma miksija b'saff protettiv bħalkarbur tas-silikon (SiC), li hija magħrufa għall-konduttività termali għolja u l-istabbiltà tagħha. Il-Kisi SiCjipprovdi wiċċ iebes u protettiv li jirreżisti l-korrużjoni u d-degradazzjoni f'temperaturi għoljin.
2. Susceptors tal-karbur tas-silikon (SiC): Dawn is-susceptors huma magħmula kompletament minn SiC u għandhom stabbiltà termali eċċellenti u reżistenza għall-ilbies. Is-susċetturi tas-SiC huma partikolarment adattati għal proċessi ta 'temperatura għolja u ambjenti korrużivi.
Kif jaħdmu s-susċetturi f'MOCVD:
Fil-proċess MOCVD, il-prekursuri huma introdotti fil-kamra tar-reazzjoni fejn jiddekomponu u jirreaġixxu biex jiffurmaw film irqiq fuq is-sottostrat. Is-susċettur għandu rwol vitali billi jiżgura li s-sottostrat jissaħħan b'mod ugwali, li huwa kritiku biex jinkisbu proprjetajiet konsistenti tal-film fuq il-wiċċ kollu tas-sottostrat. Il-materjal u d-disinn tas-susceptor huma magħżula bir-reqqa biex jissodisfaw ir-rekwiżiti speċifiċi tal-proċess ta 'depożizzjoni, bħall-firxa tat-temperatura u l-kompatibilità kimika.
Benefiċċji tal-użu ta' susceptors ta' kwalità għolja:
• Kwalità mtejba tal-film: Billi tipprovdi distribuzzjoni uniformi tas-sħana, is-susceptor jgħin biex jinkisbu films bi ħxuna u kompożizzjoni konsistenti, li hija kritika għall-prestazzjoni ta 'apparati semikondutturi.
• Effiċjenza tal-proċess imtejba: Susceptors ta 'kwalità għolja jżidu l-effiċjenza ġenerali tal-proċess MOCVD billi jnaqqsu l-probabbiltà ta' difetti u jżidu r-rendiment ta 'films li jistgħu jintużaw.
• It-tul tal-ħajja u l-affidabbiltà: Susceptors magħmula minn materjali durabbli bħal SiC jiżguraw affidabilità fit-tul u jnaqqsu l-ispejjeż tal-manutenzjoni.
Is-susceptor huwa komponent integrali fil-proċess MOCVD u jaffettwa direttament il-kwalità u l-effiċjenza tad-depożizzjoni ta 'film irqiq. Għal aktar informazzjoni dwar daqsijiet disponibbli, susceptors MOCVD u prezzijiet, jekk jogħġbok ikkuntatjana. L-inġiniera tagħna jkunu kuntenti li jagħtuk parir dwar materjali adattati u jwieġbu l-mistoqsijiet kollha tiegħek.
Telefon: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Ħin tal-post: Awissu-12-2024