Introduzzjoni ta 'wafer carrier
KATAGORIJA TAL-PRODOTT
▶Wafer Carrier System għall-Proċess PECVD & TALOX
• Dgħajsa tal-Graphite PECVD & TALOX (M4 ~ M12)
• Dgħajsa SM Vertikali (M4, M6)
• Implant & doċċa Parti tal-Graphite (M4 ~ M6)
• C/C Trej & Kisi taċ-ċeramika
• Metall RIE-Tray & Kisi taċ-ċeramika
• Siġillar bil-vakwu : O-Ring & SQ-Ring
▶Texturing & Wet Inċiżjoni Proċess ta 'Trasferiment
• LSC H-Carrier jew cassette (M4 ~ M12)
• LSC V-Carrier jew cassette (M4 ~ M12)
• ASC Carrier jew cassette (M4, M6)
• W/F Trasportatur & Kaxxa tal-Ħażna (M4 ~ M12)
• Serje tar-Roti tat-Trasport (Roller).
▶Trasportatur taċ-Ċelloli Solari u Trasportatur tal-metall
• TRC Carrier jew cassette (M4 ~ M12)
• Magazine (biċ-ĊINTURA)
DGĦAJJA TAL-GRAFIT (Tip H)
19P6-216CT (WF M4 ~ M12)
DGĦAJJA TAL-GRAFIT (Tip H)
21P6-240CT WF M4 ~ M12)
DGĦAJJA TAL-GRAFIT (Tip H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
DGĦAJJA TAL-GRAFIT (Tip H)
22P/7-294TP (W/F M4 ~ M12)
DGĦAJJA TAL-GRAFIT (Tip H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF KAXXA TA' KARRIER U ĦAŻNA (~M12)
C/C TRAY jew CARRIER (M4 ~ M10)
C/C TRAY jew CARRIER (M4 ~ M10)
DGĦAJJA VERTIKALI (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
Wafer Carrier System għall-Proċess PECVD
▶ Dgħajsa tal-grafita (CT-Designed) M10/M12 Proċess
• KUNĊETT SPEĊJALI TA' DISINN
▶ Dgħajsa tal-grafita (CT-Designed) M4/M6 Proċess
▶ Partijiet Aċċessorji tad-Dgħajsa
▶ DGĦAJJA VERTIKALI-161.7mm wejfer
▶ DGĦAJJA VERTIĊI-166mm wejfer
▶ DGĦAJJA VERTIKALI-161.7mm, 166mm wejfer
Trasportatur taċ-Ċelloli Solari u Trasportatur TRC tal-metall
TIP: Awtomazzjoni
DAQS tal-wejfer : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180mm ⑥ 210 × 210mm
UŻU: Ġorr (Cassette)
KAPAĊITÀ: 100 folja
PITCH : 4.76MM/5.953mm/6.35mm
DIMENSJONI: Madwar 559 × 220 × 220MM
Madwar 712 × 260 × 260MM
VANTAĠĠ : Atmosfera
MATERJAL: FJAMM, BAR TAL-ĠENEB-Aluminju (anodizzanti)
PLATE-POM (Antistatiku)
Qoxra tal-bar tal-qiegħ-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALL CARRIER (LINJA TAL-UTENT)
TRC-METALL CARRIER (LINJA TAL-UTENT)
TRC-METALL CARRIER (LINJA TAL-UTENT)
PJANĊA tad-DOĊĊA & IMPLANT, ĠARRIER
