Introduzzjoni għall-Kisi tal-Karbur tas-Silikon
Il-kisi tagħna ta 'Deposizzjoni Kimika tal-Fwar (CVD) tal-Karbur tas-Silikon (SiC) huwa saff durabbli ħafna u reżistenti għall-ilbies, ideali għal ambjenti li jitolbu korrużjoni għolja u reżistenza termali.Kisi tal-karbur tas-silikonhuwa applikat fi saffi irqaq fuq diversi substrati permezz tal-proċess CVD, li joffri karatteristiċi ta 'prestazzjoni superjuri.
Karatteristiċi Ewlenin
● -Purità eċċezzjonali: Boasting kompożizzjoni ultra-pura ta99.99995%, tagħnaKisi SiCjimminimizza r-riskji ta 'kontaminazzjoni f'operazzjonijiet sensittivi tas-semikondutturi.
● -Reżistenza Superjuri: Jesibixxi reżistenza eċċellenti kemm għall-ilbies kif ukoll għall-korrużjoni, li jagħmilha perfetta għall-issettjar ta 'kimiċi u plażma ta' sfida.
● -Konduttività Termali Għolja: Jiżgura prestazzjoni affidabbli taħt temperaturi estremi minħabba l-proprjetajiet termali pendenti tiegħu.
● -Stabbiltà Dimensjonali: Iżomm l-integrità strutturali fuq firxa wiesgħa ta 'temperaturi, grazzi għall-koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali tiegħu.
● -Ebusija mtejba: Bi klassifikazzjoni ta 'ebusija ta'40 GPa, il-kisi SiC tagħna jiflaħ impatt sinifikanti u brix.
● -Temm tal-wiċċ lixx: Jipprovdi finitura bħal mera, tnaqqas il-ġenerazzjoni tal-partiċelli u ttejjeb l-effiċjenza operattiva.
Applikazzjonijiet
Semicera Kisi SiChuma utilizzati f'diversi stadji tal-manifattura tas-semikondutturi, inklużi:
● -Fabbrikazzjoni taċ-Ċippa LED
● -Produzzjoni tal-Polysilicon
● -Tkabbir tal-Kristall Semikondutturi
● -Epitassija tas-silikon u SiC
● -Ossidazzjoni u Diffużjoni Termali (TO&D)
Aħna nipprovdu komponenti miksija bis-SiC maħduma minn grafita iżostatika ta 'saħħa għolja, karbonju rinfurzat bil-fibra tal-karbonju u karbur tas-silikon rikristallizzat 4N, imfassla għal reatturi b'sodda fluwidizzata,Konvertituri STC-TCS, rifletturi tal-unità CZ, dgħajsa tal-wejfer tas-SiC, jaqdfu SiCwafer, tubu tal-wejfer tas-SiC, u trasportaturi tal-wejfers użati f'PECVD, epitassi tas-silikon, proċessi MOCVD.
Benefiċċji
● -Ħajja Estiża: Inaqqas b'mod sinifikanti l-waqfien tat-tagħmir u l-ispejjeż tal-manutenzjoni, u jtejjeb l-effiċjenza ġenerali tal-produzzjoni.
● -Kwalità Mtejba: Tikseb uċuħ ta 'purità għolja meħtieġa għall-ipproċessar tas-semikondutturi, u b'hekk tingħata spinta lill-kwalità tal-prodott.
● -Żieda fl-Effiċjenza: Jottimizza l-proċessi termali u CVD, li jirriżulta f'ħinijiet ta 'ċiklu iqsar u rendimenti ogħla.
Speċifikazzjonijiet Tekniċi
● -Struttura: FCC β polycrystaline, prinċipalment (111)orjentat
● -Densità: 3.21 g/ċm³
● -Ebusija: 2500 ebusija Vicks (tagħbija 500g)
● -Toughness tal-ksur: 3.0 MPa·m1/2
● -Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -Modulu elastiku (1300℃):435 GPa
● -Ħxuna Tipika tal-Film:100 µm
● -Ħruxija tal-wiċċ:2-10 µm
Dejta dwar il-purità (Mkejla permezz ta' Spettroskopija tal-Massa Glow Discharge)
| Element | ppm | Element | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| Al | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
