Karatteristiċi u vantaġġi
1.Dimensjonijiet preċiżi u stabbiltà termali
2.Ebusija speċifika għolja u uniformità termali eċċellenti, użu fit-tul mhuwiex faċli biex titgħawweġ deformazzjoni;
3.Għandha wiċċ lixx u reżistenza tajba għall-ilbies, u b'hekk timmaniġġja b'mod sikur iċ-ċippa mingħajr kontaminazzjoni tal-partiċelli.
4.Reżistività tal-karbur tas-silikon f'106-108Ω, mhux manjetiku, f'konformità mar-rekwiżiti ta 'speċifikazzjoni kontra l-ESD;Jista 'jipprevjeni l-akkumulazzjoni ta' elettriku statiku fuq il-wiċċ taċ-ċippa
5.Good konduttività termali, koeffiċjent ta 'espansjoni baxx.