Purità għolja SiC Carrier/Susceptor

Deskrizzjoni qasira:

Id-diska tal-karbur tas-silikon hija magħrufa wkoll bħala trej SIC, diska tal-inċiżjoni tal-karbur tas-silikon, diska tal-inċiżjoni tal-ICP. Trej tal-karbur tas-silikon għall-inċiżjoni LED (trej SiC) φ600mm huwa aċċessorju speċjali għall-inċiżjoni tas-silikon fil-fond (magna tal-inċiżjoni ICP).

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Deskrizzjoni

Iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon għandha proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti f'temperatura tal-kamra, bħal qawwa għolja, ebusija għolja, modulu elastiku għoli, eċċ., Għandha wkoll stabbiltà eċċellenti f'temperatura għolja bħal konduttività termali għolja, koeffiċjent ta 'espansjoni termali baxx, u ebusija speċifika tajba u ottika prestazzjoni tal-ipproċessar.
Dawn huma adattati b'mod speċjali għall-produzzjoni ta 'partijiet taċ-ċeramika ta' preċiżjoni għal tagħmir ta 'ċirkwit integrat bħal magni tal-litografija, prinċipalment użati biex jimmanifatturaw it-trasportatur / susceptor tas-SiC, dgħajsa tal-wejfer tas-SiC, diska tal-irdigħ, pjanċa li tkessaħ l-ilma, riflettur tal-kejl ta' preċiżjoni, ħakk u partijiet strutturali taċ-ċeramika oħra

trasportatur2

trasportatur3

trasportatur4

Vantaġġi

Reżistenza għat-temperatura għolja: użu normali f'1800 ℃
Konduttività termali għolja: ekwivalenti għal materjal tal-grafita
Ebusija għolja: ebusija t-tieni biss għad-djamant, nitrur tal-boron
Reżistenza għall-korrużjoni: aċidu qawwi u alkali m'għandhom l-ebda korrużjoni għaliha, ir-reżistenza għall-korrużjoni hija aħjar minn karbur tat-tungstenu u alumina
Piż ħafif: densità baxxa, qrib l-aluminju
Ebda deformazzjoni: koeffiċjent baxx ta 'espansjoni termali
Reżistenza għal xokk termali: tista 'tiflaħ bidliet qawwija fit-temperatura, tirreżisti xokk termali, u għandha prestazzjoni stabbli
Trasportatur tal-karbur tas-silikon bħal trasportatur tal-inċiżjoni sic, susceptor tal-inċiżjoni tal-ICP, jintużaw ħafna f'semikondutturi CVD, sputtering vakwu eċċ Nistgħu nipprovdu lill-klijenti trasportaturi ta 'wejfers personalizzati ta' materjali tas-silikon u karbur tas-silikon biex jissodisfaw applikazzjonijiet differenti.

Vantaġġi

Proprjetà	Valur	Metodu
Densità	3.21 g/cc	Sink-float u dimensjoni
Sħana speċifika	0.66 J/g °K	Flash tal-lejżer pulsat
Saħħa tal-flessjoni	450 MPa560 MPa	4 punti liwja, RT4 punt liwja, 1300°
Toughness tal-ksur	2.94 MPa m1/2	Mikroindentazzjoni
Ebusija	2800	Vicker's, tagħbija ta' 500g
Modulu elastiku Modulus ta 'Young	450 GPa430 GPa	4 pt liwja, RT4 pt liwja, 1300 °C
Daqs tal-qamħ	2 – 10 µm	SEM

Profil tal-Kumpanija

WeiTai Energy Technology Co., Ltd hija fornitur ewlieni ta 'ċeramika semikonduttur avvanzata u l-uniku manifattur fiċ-Ċina li jista' fl-istess ħin jipprovdi ċeramika ta 'karbur tas-silikon ta' purità għolja (speċjalment is-SiC Rekristallizzat) u kisi CVD SiC. Barra minn hekk, il-kumpanija tagħna hija wkoll impenjata għall-oqsma taċ-ċeramika bħall-alumina, nitrur tal-aluminju, zirconia, u nitrur tas-silikon, eċċ.

Prodotti ewlenin tagħna jinkludu: diska tal-inċiżjoni tal-karbur tas-silikon, stoppa tad-dgħajsa tal-karbur tas-silikon, dgħajsa tal-wejfer tal-karbur tas-silikon (Photovoltaic & Semiconductor), tubu tal-forn tal-karbur tas-silikon, paddle cantilever tal-karbur tas-silikon, chucks tal-karbur tas-silikon, raġġ tal-karbur tas-silikon, kif ukoll il-kisi CVD SiC u TaC kisi. Il-prodotti prinċipalment użati fl-industriji tas-semikondutturi u fotovoltajċi, bħal tagħmir għat-tkabbir tal-kristall, epitassi, inċiżjoni, ippakkjar, kisi u fran tad-diffużjoni, eċċ.
madwar (2)