Semicera Purità GħoljaPaddle tal-karbur tas-silikonhuwa mfassal b'mod metikoluż biex jissodisfa t-talbiet stretti tal-proċessi moderni tal-manifattura tas-semikondutturi. DanSiC Cantilever Paddlejeċċella f'ambjenti ta 'temperatura għolja, li joffri stabbiltà termali u durabilità mekkanika mingħajr paragun. L-istruttura Cantilever tas-SiC hija mibnija biex tiflaħ kundizzjonijiet estremi, u tiżgura tqandil affidabbli tal-wejfer matul diversi proċessi.
Waħda mill-innovazzjonijiet ewlenin tal-SiC Paddlehuwa d-disinn ħafif iżda robust tiegħu, li jippermetti integrazzjoni faċli fis-sistemi eżistenti. Il-konduttività termali għolja tagħha tgħin biex iżżomm l-istabbiltà tal-wejfer matul fażijiet kritiċi bħall-inċiżjoni u d-depożizzjoni, billi timminimizza r-riskju ta 'ħsara tal-wejfer u tiżgura rendimenti ogħla tal-produzzjoni. L-użu ta 'karbur tas-silikon ta' densità għolja fil-kostruzzjoni tal-paddle isaħħaħ ir-reżistenza tiegħu għall-użu u l-kedd, jipprovdi ħajja operattiva estiża u jnaqqas il-ħtieġa għal sostituzzjonijiet frekwenti.
Semicera tpoġġi enfasi qawwija fuq l-innovazzjoni, billi tagħti aSiC Cantilever Paddleli mhux biss jilħaq iżda jaqbeż l-istandards tal-industrija. Din il-qadfa hija ottimizzata għall-użu f'diversi applikazzjonijiet semikondutturi, mid-depożizzjoni għall-inċiżjoni, fejn il-preċiżjoni u l-affidabbiltà huma kruċjali. Billi jintegraw din it-teknoloġija avvanzata, il-manifatturi jistgħu jistennew effiċjenza mtejba, spejjeż ta 'manutenzjoni mnaqqsa, u kwalità konsistenti tal-prodott.
Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat | |
Proprjetà | Valur Tipiku |
Temperatura tax-xogħol (°C) | 1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas) |
Kontenut SiC | > 99.96% |
Ħieles Si kontenut | < 0.1% |
Densità tal-massa | 2.60-2.70 g/ċm3 |
Porożità apparenti | < 16% |
Saħħa tal-kompressjoni | > 600 MPa |
Saħħa tal-liwi kiesaħ | 80-90 MPa (20°C) |
Saħħa tal-liwi sħun | 90-100 MPa (1400°C) |
Espansjoni termali @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduttività termali @1200°C | 23 W/m•K |
Modulu elastiku | 240 GPa |
Reżistenza għal xokk termali | Tajjeb ħafna |