Dgħajsa tal-Graphite PECVD iżostatika

Isostatiku PECVD Graphite Boat Dehru Immaġni

Deskrizzjoni qasira:

Id-dgħajsa isostatika tal-grafita PECVD tintuża ħafna f'diversi rabtiet tal-manifattura tas-semikondutturi, bħal depożizzjoni ta 'film tal-polysilicon, depożizzjoni ta' film ossidu, depożizzjoni ta 'film nitrur, eċċ. Il-prestazzjoni eċċellenti tagħha tagħmilha trasportatur tal-wejfer ideali fil-proċess PECVD.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Dgħajsa tal-grafita isostatika SEMICERA PECVD hija prodott tal-grafita ta 'purità għolja u ta' densità għolja ddisinjat għall-appoġġ tal-wejfer fil-proċess PECVD (depożizzjoni tal-fwar kimiku mtejjeb bil-plażma). SEMICERA juża teknoloġija avvanzata tal-ippressar iżostatiku biex jiżgura li d-dgħajsa tal-grafita jkollha reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u konduttività termali tajba, li hija konsumabbli indispensabbli fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi.

Dgħajsa tal-grafita iżostatika SEMICERA PECVD għandha l-vantaġġi li ġejjin:

▪ Purità għolja: Il-materjal tal-grafita huwa ta 'purità għolja u kontenut baxx ta' impurità biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni tal-wiċċ tal-wejfer.

▪ Densità għolja: Densità għolja, saħħa mekkanika għolja, tista 'tiflaħ temperatura għolja u ambjent ta' vakwu għoli.

▪ Stabbiltà dimensjonali tajba: Bidla dimensjonali żgħira f'temperatura għolja biex tiġi żgurata l-istabbiltà tal-proċess.

▪ Konduttività termali eċċellenti: Ittrasferixxi s-sħana b'mod effettiv biex tevita sħana żejda tal-wejfer.

▪ Reżistenza qawwija għall-korrużjoni: Kapaċi tirreżisti l-erożjoni minn diversi gassijiet korrużivi u plażma.

Parametru tal-prestazzjoni	semiċera	SGL R6510	Parametru tal-prestazzjoni
Densità tal-massa (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Saħħa tal-liwi (MPa)	63	60	49
Saħħa kompressiva (MPa)	135	130	103
Ebusija tax-Xatt (HS)	70	64	60
Koeffiċjent ta' espansjoni termali (10-6/K)	85	105	130
Koeffiċjent ta' espansjoni termali (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Reżistenza (μΩm)	11-13	13	10

Vantaġġi li tagħżelna:
▪ Għażla tal-materjal: Materjali tal-grafita ta 'purità għolja jintużaw biex jiżguraw il-kwalità tal-prodott.
▪ Teknoloġija tal-ipproċessar: L-ippressar isostatiku jintuża biex jiżgura d-densità u l-uniformità tal-prodott.
▪ Personalizzazzjoni tad-daqs: Dgħajjes tal-grafita ta 'daqsijiet u forom differenti jistgħu jiġu personalizzati skont il-ħtiġijiet tal-klijent.
▪ Trattament tal-wiċċ: varjetà ta 'metodi ta' trattament tal-wiċċ huma pprovduti, bħal kisi tal-karbur tas-silikon, nitrur tal-boron, eċċ., Biex jissodisfaw rekwiżiti ta 'proċess differenti.