Proċess ta 'produzzjoni tal-wejfer tal-karbur tas-silikon

Wejfer tal-karbur tas-silikonhija magħmula minn trab tas-silikon ta 'purità għolja u trab tal-karbonju ta' purità għolja bħala materja prima, u l-kristall tal-karbur tas-silikon jitkabbar b'metodu ta 'trasferiment fiżiku tal-fwar (PVT), u pproċessat f'wejfer tal-karbur tas-silikon.

① Sintesi tal-materja prima.Trab tas-silikon ta 'purità għolja u trab tal-karbonju ta' purità għolja tħalltu skont ċertu proporzjon, u partiċelli tal-karbur tas-silikon ġew sintetizzati f'temperatura għolja 'l fuq minn 2,000 ℃.Wara tgħaffiġ, tindif u proċessi oħra, il-materja prima tat-trab tal-karbur tas-silikon ta 'purità għolja li tissodisfa r-rekwiżiti tat-tkabbir tal-kristall huma ppreparati.

② Tkabbir tal-kristall.Bl-użu ta ' trab SIC ta ' purità għolja bħala materja prima, il-kristall tkabbar b'metodu ta 'trasferiment fiżiku tal-fwar (PVT) bl-użu ta' forn tat-tkabbir tal-kristall żviluppat innifsu.

③ ipproċessar tal-ingotti.L-ingott tal-kristall tal-karbur tas-silikon miksub kien orjentat minn orjentazzjoni tal-kristall singolu tar-raġġi X, imbagħad mitħun u rrumblat, u pproċessat fi kristall tal-karbur tas-silikon ta 'dijametru standard.

④ Qtugħ tal-kristall.Bl-użu ta 'tagħmir tat-tqattigħ b'ħafna linji, il-kristalli tal-karbur tas-silikon jinqatgħu f'folji rqaq bi ħxuna ta' mhux aktar minn 1mm.

⑤ Tħin taċ-ċippa.Il-wejfer huwa mitħun sal-flatness u l-ħruxija mixtieqa permezz ta 'fluwidi tat-tħin tad-djamanti ta' daqsijiet ta 'partiċelli differenti.

⑥ Illustrar taċ-ċippa.Il-karbur tas-silikon illustrat mingħajr ħsara fil-wiċċ inkiseb permezz tal-illustrar mekkaniku u l-illustrar mekkaniku kimiku.

⑦ Sejbien taċ-ċippa.Uża mikroskopju ottiku, diffractometer tar-raġġi X, mikroskopju tal-forza atomika, tester tar-reżistività mingħajr kuntatt, tester tal-flatness tal-wiċċ, tester komprensiv tad-difetti tal-wiċċ u strumenti u tagħmir ieħor biex tiskopri d-densità tal-mikrotubuli, kwalità tal-kristall, ħruxija tal-wiċċ, resistività, warpage, kurvatura, bidla fil-ħxuna, scratch tal-wiċċ u parametri oħra ta 'wejfer tal-karbur tas-silikon.Skont dan, il-livell ta 'kwalità taċ-ċippa huwa determinat.

⑧ Tindif taċ-ċippa.Il-folja tal-illustrar tal-karbur tas-silikon titnaddaf b'aġent tat-tindif u ilma pur biex tneħħi l-likwidu tal-illustrar residwu u ħmieġ ieħor tal-wiċċ fuq il-folja tal-illustrar, u mbagħad il-wejfer jintefaħ u jitħawwad niexef minn nitroġenu ta 'purità ultra-għolja u magna tat-tnixxif;Il-wejfer huwa inkapsulat f'kaxxa tal-folja nadifa f'kamra super-nadifa biex tifforma wejfer tal-karbur tas-silikon lest għall-użu downstream.

Iktar ma jkun kbir id-daqs taċ-ċippa, iktar ikun diffiċli t-tkabbir u t-teknoloġija tal-ipproċessar tal-kristall korrispondenti, u iktar ma tkun għolja l-effiċjenza tal-manifattura ta 'apparati downstream, inqas tkun l-ispiża tal-unità.