PFA Cassette

Deskrizzjoni qasira:

PFA Cassette– Esperjenza ta 'reżistenza kimika u durabilità mhux imqabbla bil-PFA Cassette ta' Semicera, is-soluzzjoni ideali għall-immaniġġjar sikur u effiċjenti tal-wejfers fil-manifattura tas-semikondutturi.


Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Semicerahuwa kuntent li joffri l-PFA Cassette, għażla premium għall-immaniġġjar tal-wejfers f'ambjenti fejn ir-reżistenza kimika u d-durabilità huma importanti ħafna. Magħmul minn materjal Perfluoroalkoxy (PFA) ta 'purità għolja, dan il-cassette huwa ddisinjat biex jiflaħ l-aktar kundizzjonijiet eżiġenti fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, u jiżgura s-sigurtà u l-integrità tal-wejfers tiegħek.

Reżistenza Kimika mhux imqabblaIl-PFA Cassettehija mfassla biex tipprovdi reżistenza superjuri għal firxa wiesgħa ta 'kimiċi, li tagħmilha l-għażla perfetta għal proċessi li jinvolvu aċidi aggressivi, solventi u kimiċi ħarxa oħra. Din ir-reżistenza kimika robusta tiżgura li l-cassette tibqa 'intatta u funzjonali anke fl-ambjenti l-aktar korrużivi, u b'hekk testendi l-ħajja tagħha u tnaqqas il-ħtieġa għal sostituzzjonijiet frekwenti.

Kostruzzjoni ta’ Purità GħoljaSemicera'sPFA Cassettehuwa manifatturat minn materjal PFA ultra-pur, li huwa kritiku fil-prevenzjoni tal-kontaminazzjoni waqt l-ipproċessar tal-wejfer. Din il-kostruzzjoni ta 'purità għolja timminimizza r-riskju ta' ġenerazzjoni ta 'partiċelli u lissija kimika, u tiżgura li l-wejfers tiegħek huma protetti minn impuritajiet li jistgħu jikkompromettu l-kwalità tagħhom.

Durabilità u Prestazzjoni MtejbaIddisinjati għal durabilità, il-PFA Cassetteiżomm l-integrità strutturali tiegħu taħt temperaturi estremi u kundizzjonijiet ta 'proċessar rigorużi. Kemm jekk espost għal temperaturi għoljin jew soġġett għal immaniġġjar ripetut, dan il-cassette jżomm il-forma u l-prestazzjoni tiegħu, u joffri affidabilità fit-tul f'ambjenti ta 'manifattura eżiġenti.

Inġinerija ta 'preċiżjoni għal Immaniġġjar SikurIl-Semicera PFA Cassettekaratteristiċi inġinerija preċiża li tiżgura l-immaniġġjar tal-wejfers siguri u stabbli. Kull slot huwa ddisinjat bir-reqqa biex iżomm il-wejfers fis-sod, u jipprevjeni kwalunkwe moviment jew ċaqliq li jista 'jirriżulta fi ħsara. Din l-inġinerija ta 'preċiżjoni tappoġġja t-tqegħid konsistenti u preċiż tal-wejfer, li tikkontribwixxi għall-effiċjenza ġenerali tal-proċess.

Applikazzjoni versatili madwar il-proċessiGrazzi għall-proprjetajiet materjali superjuri tiegħu, il-PFA Cassettehuwa versatili biżżejjed biex jintuża f'diversi stadji tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi. Huwa partikolarment adattat tajjeb għall-inċiżjoni mxarrba, depożizzjoni tal-fwar kimiku (CVD), u proċessi oħra li jinvolvu ambjenti kimiċi ħarxa. L-adattabilità tagħha tagħmilha għodda essenzjali fiż-żamma tal-integrità tal-proċess u l-kwalità tal-wejfer.

Impenn għall-Kwalità u l-InnovazzjoniF'Semicera, aħna impenjati li nipprovdu prodotti li jissodisfaw l-ogħla standards tal-industrija. Il-PFA Cassettejagħti eżempju dan l-impenn, billi joffri soluzzjoni affidabbli li tintegra bla xkiel fil-proċessi tal-manifattura tiegħek. Kull cassette jgħaddi minn kontroll strett tal-kwalità biex jiżgura li jissodisfa l-kriterji ta 'prestazzjoni rigorużi tagħna, u jagħti l-eċċellenza li tistenna minn Semicera.

Oġġetti

Produzzjoni

Riċerka

Manikin

Parametri tal-kristall

Politip

4H

Żball fl-orjentazzjoni tal-wiċċ

<11-20> 4±0.15°

Parametri elettriċi

Dopant

Nitroġenu tat-tip n

Reżistenza

0.015-0.025ohm · ċm

Parametri Mekkaniċi

Dijametru

150.0±0.2mm

Ħxuna

350±25 μm

Orjentazzjoni ċatta primarja

[1-100]±5°

Tul ċatt primarju

47.5±1.5mm

Flat sekondarju

Xejn

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

pruwa

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Medd

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Quddiem (Si-face) ħruxija (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

Struttura

Densità tal-mikropipe

<1 ea/ċm2

<10 ea/ċm2

<15 ea/ċm2

Impuritajiet tal-metall

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Kwalità ta 'quddiem

Quddiem

Si

Finitura tal-wiċċ

Si-face CMP

Partiċelli

≤60ea/wejfer (size≥0.3μm)

NA

Grif

≤5ea/mm. Tul kumulattiv ≤Diametru

Long≤2*Dijametru kumulattiv

NA

Qoxra tal-larinġ/fosos/tbajja/strijazzjonijiet/xquq/kontaminazzjoni

Xejn

NA

Ċipep tat-tarf/inċiżi/ksur/pjanċi hex

Xejn

Żoni tal-politip

Xejn

Żona kumulattiva≤20%

Żona kumulattiva≤30%

Immarkar bil-lejżer ta 'quddiem

Xejn

Lura Kwalità

Temm lura

C-wiċċ CMP

Grif

≤5ea/mm, tul kumulattiv≤2 * Dijametru

NA

Difetti tad-dahar (laqx tat-tarf/inċiżi)

Xejn

Ħruxija tad-dahar

Ra≤0.2nm (5μm * 5μm)

L-immarkar bil-lejżer lura

1 mm (mit-tarf ta' fuq)

Xifer

Xifer

Ċanfrin

Ippakkjar

Ippakkjar

Epi-lest b'ippakkjar bil-vakwu

Ippakkjar multi-wejfer cassette

*Noti: "NA" tfisser l-ebda talba Oġġetti mhux imsemmija jistgħu jirreferu għal SEMI-STD.

tech_1_2_size
Wejfers tas-SiC

  • Preċedenti:
  • Li jmiss: