Semicerahuwa kuntent li joffri l-PFA Cassette, għażla premium għall-immaniġġjar tal-wejfers f'ambjenti fejn ir-reżistenza kimika u d-durabilità huma importanti ħafna. Magħmul minn materjal Perfluoroalkoxy (PFA) ta 'purità għolja, dan il-cassette huwa ddisinjat biex jiflaħ l-aktar kundizzjonijiet eżiġenti fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi, u jiżgura s-sigurtà u l-integrità tal-wejfers tiegħek.
Reżistenza Kimika mhux imqabblaIl-PFA Cassettehija mfassla biex tipprovdi reżistenza superjuri għal firxa wiesgħa ta 'kimiċi, li tagħmilha l-għażla perfetta għal proċessi li jinvolvu aċidi aggressivi, solventi u kimiċi ħarxa oħra. Din ir-reżistenza kimika robusta tiżgura li l-cassette tibqa 'intatta u funzjonali anke fl-ambjenti l-aktar korrużivi, u b'hekk testendi l-ħajja tagħha u tnaqqas il-ħtieġa għal sostituzzjonijiet frekwenti.
Kostruzzjoni ta’ Purità GħoljaSemicera'sPFA Cassettehuwa manifatturat minn materjal PFA ultra-pur, li huwa kritiku fil-prevenzjoni tal-kontaminazzjoni waqt l-ipproċessar tal-wejfer. Din il-kostruzzjoni ta 'purità għolja timminimizza r-riskju ta' ġenerazzjoni ta 'partiċelli u lissija kimika, u tiżgura li l-wejfers tiegħek huma protetti minn impuritajiet li jistgħu jikkompromettu l-kwalità tagħhom.
Durabilità u Prestazzjoni MtejbaIddisinjati għal durabilità, il-PFA Cassetteiżomm l-integrità strutturali tiegħu taħt temperaturi estremi u kundizzjonijiet ta 'proċessar rigorużi. Kemm jekk espost għal temperaturi għoljin jew soġġett għal immaniġġjar ripetut, dan il-cassette jżomm il-forma u l-prestazzjoni tiegħu, u joffri affidabilità fit-tul f'ambjenti ta 'manifattura eżiġenti.
Inġinerija ta 'preċiżjoni għal Immaniġġjar SikurIl-Semicera PFA Cassettekaratteristiċi inġinerija preċiża li tiżgura l-immaniġġjar tal-wejfers siguri u stabbli. Kull slot huwa ddisinjat bir-reqqa biex iżomm il-wejfers fis-sod, u jipprevjeni kwalunkwe moviment jew ċaqliq li jista 'jirriżulta fi ħsara. Din l-inġinerija ta 'preċiżjoni tappoġġja t-tqegħid konsistenti u preċiż tal-wejfer, li tikkontribwixxi għall-effiċjenza ġenerali tal-proċess.
Applikazzjoni versatili madwar il-proċessiGrazzi għall-proprjetajiet materjali superjuri tiegħu, il-PFA Cassettehuwa versatili biżżejjed biex jintuża f'diversi stadji tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi. Huwa partikolarment adattat tajjeb għall-inċiżjoni mxarrba, depożizzjoni tal-fwar kimiku (CVD), u proċessi oħra li jinvolvu ambjenti kimiċi ħarxa. L-adattabilità tagħha tagħmilha għodda essenzjali fiż-żamma tal-integrità tal-proċess u l-kwalità tal-wejfer.
Impenn għall-Kwalità u l-InnovazzjoniF'Semicera, aħna impenjati li nipprovdu prodotti li jissodisfaw l-ogħla standards tal-industrija. Il-PFA Cassettejagħti eżempju dan l-impenn, billi joffri soluzzjoni affidabbli li tintegra bla xkiel fil-proċessi tal-manifattura tiegħek. Kull cassette jgħaddi minn kontroll strett tal-kwalità biex jiżgura li jissodisfa l-kriterji ta 'prestazzjoni rigorużi tagħna, u jagħti l-eċċellenza li tistenna minn Semicera.
Oġġetti | Produzzjoni | Riċerka | Manikin |
Parametri tal-kristall | |||
Politip | 4H | ||
Żball fl-orjentazzjoni tal-wiċċ | <11-20> 4±0.15° | ||
Parametri elettriċi | |||
Dopant | Nitroġenu tat-tip n | ||
Reżistenza | 0.015-0.025ohm · ċm | ||
Parametri Mekkaniċi | |||
Dijametru | 150.0±0.2mm | ||
Ħxuna | 350±25 μm | ||
Orjentazzjoni ċatta primarja | [1-100]±5° | ||
Tul ċatt primarju | 47.5±1.5mm | ||
Flat sekondarju | Xejn | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
pruwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Medd | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Quddiem (Si-face) ħruxija (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Struttura | |||
Densità tal-mikropipe | <1 ea/ċm2 | <10 ea/ċm2 | <15 ea/ċm2 |
Impuritajiet tal-metall | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kwalità ta 'quddiem | |||
Quddiem | Si | ||
Finitura tal-wiċċ | Si-face CMP | ||
Partiċelli | ≤60ea/wejfer (size≥0.3μm) | NA | |
Grif | ≤5ea/mm. Tul kumulattiv ≤Diametru | Long≤2*Dijametru kumulattiv | NA |
Qoxra tal-larinġ/fosos/tbajja/strijazzjonijiet/xquq/kontaminazzjoni | Xejn | NA | |
Ċipep tat-tarf/inċiżi/ksur/pjanċi hex | Xejn | ||
Żoni tal-politip | Xejn | Żona kumulattiva≤20% | Żona kumulattiva≤30% |
Immarkar bil-lejżer ta 'quddiem | Xejn | ||
Lura Kwalità | |||
Temm lura | C-wiċċ CMP | ||
Grif | ≤5ea/mm, tul kumulattiv≤2 * Dijametru | NA | |
Difetti tad-dahar (laqx tat-tarf/inċiżi) | Xejn | ||
Ħruxija tad-dahar | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
L-immarkar bil-lejżer lura | 1 mm (mit-tarf ta' fuq) | ||
Xifer | |||
Xifer | Ċanfrin | ||
Ippakkjar | |||
Ippakkjar | Epi-lest b'ippakkjar bil-vakwu Ippakkjar tal-cassette multi-wejfer | ||
*Noti: "NA" tfisser l-ebda talba Oġġetti mhux imsemmija jistgħu jirreferu għal SEMI-STD. |