CVD Bulk Silicon Carbide (SiC)
Ħarsa ġenerali:CVDkarbur tas-silikon bl-ingrossa (SiC)huwa materjal imfittex ħafna f'tagħmir ta 'inċiżjoni fil-plażma, applikazzjonijiet ta' proċessar termali rapidu (RTP), u proċessi oħra ta 'manifattura ta' semikondutturi. Il-proprjetajiet mekkaniċi, kimiċi u termali eċċezzjonali tiegħu jagħmluha materjal ideali għal applikazzjonijiet ta 'teknoloġija avvanzata li jitolbu preċiżjoni għolja u durabilità.
Applikazzjonijiet ta' CVD Bulk SiC:Is-SiC bl-ingrossa huwa kruċjali fl-industrija tas-semikondutturi, partikolarment fis-sistemi ta 'inċiżjoni tal-plażma, fejn komponenti bħal ċrieki tal-fokus, showerheads tal-gass, ċrieki tat-tarf, u platens jibbenefikaw mir-reżistenza tal-korrosjoni u l-konduttività termali eċċellenti tas-SiC. L-użu tiegħu jestendi għalRTPsistemi minħabba l-kapaċità tas-SiC li jiflaħ varjazzjonijiet rapidi fit-temperatura mingħajr degradazzjoni sinifikanti.
Minbarra t-tagħmir tal-inċiżjoni, CVDbulk SiChuwa favorit fi fran ta 'diffużjoni u proċessi ta' tkabbir tal-kristall, fejn huma meħtieġa stabbiltà termali għolja u reżistenza għal ambjenti kimiċi ħarxa. Dawn l-attributi jagħmlu SiC il-materjal ta 'għażla għal applikazzjonijiet ta' domanda għolja li jinvolvu temperaturi għoljin u gassijiet korrużivi, bħal dawk li fihom il-kloru u l-fluworin.
Vantaġġi tal-Komponenti CVD Bulk SiC:
•Densità Għolja:B'densità ta '3.2 g/cm³,CVD bulk SiCkomponenti huma reżistenti ħafna għall-użu u l-impatt mekkaniku.
•Konduttività Termali Superjuri:Joffri konduttività termali ta '300 W/m·K, bulk SiC jimmaniġġja s-sħana b'mod effiċjenti, li jagħmilha ideali għal komponenti esposti għal ċikli termali estremi.
•Reżistenza Kimika Eċċezzjonali:Ir-reattività baxxa tas-SiC ma 'gassijiet ta' inċiżjoni, inklużi kimiċi bbażati fuq il-klorin u l-fluworin, tiżgura ħajja fit-tul tal-komponenti.
•Reżistenza aġġustabbli: CVD bulk SiC'sir-reżistività tista 'tiġi personalizzata fil-medda ta' 10⁻²–10⁴ Ω-cm, li tagħmilha adattabbli għal ħtiġijiet speċifiċi ta 'inċiżjoni u manifattura ta' semikondutturi.
•Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali:B'koeffiċjent ta 'espansjoni termali ta' 4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C), CVD bulk SiC jirreżisti xokk termali, u jżomm stabbiltà dimensjonali anke waqt ċikli ta 'tisħin u tkessiħ rapidi.
•Durabilità fil-Plażma:L-espożizzjoni għall-plażma u l-gassijiet reattivi hija inevitabbli fi proċessi semikondutturi, iżdaCVD bulk SiCjoffri reżistenza superjuri għall-korrużjoni u d-degradazzjoni, u tnaqqas il-frekwenza ta 'sostituzzjoni u l-ispejjeż ġenerali tal-manutenzjoni.
Speċifikazzjonijiet Tekniċi:
•Dijametru:Iktar minn 305 mm
•Reżistenza:Aġġustabbli fi ħdan 10⁻²–10⁴ Ω-ċm
•Densità:3.2 g/ċm³
•Konduttività Termali:300 W/m·K
•Koeffiċjent ta' Espansjoni Termali:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
Personalizzazzjoni u Flessibilità:FlSemicera Semikondutturi, nifhmu li kull applikazzjoni ta 'semikondutturi tista' teħtieġ speċifikazzjonijiet differenti. Huwa għalhekk li l-komponenti tagħna tas-CVD bulk SiC huma kompletament customizable, b'reżistività aġġustabbli u dimensjonijiet imfassla biex jissodisfaw il-ħtiġijiet tat-tagħmir tiegħek. Kemm jekk qed tottimizza s-sistemi ta 'inċiżjoni tal-plażma tiegħek jew qed tfittex komponenti durabbli fil-proċessi RTP jew ta' diffużjoni, is-CVD bulk SiC tagħna jagħti prestazzjoni mingħajr paragun.
