RTPĊrieki CVD SiCjintużaw ħafna f'oqsma industrijali u xjentifiċi f'ambjenti ta 'temperatura għolja u korrużivi. Għandu rwol importanti fil-manifattura tas-semikondutturi, optoelettronika, makkinarju ta 'preċiżjoni u industrija kimika. Applikazzjonijiet speċifiċi jinkludu:
1. Manifattura tas-semikondutturi:RTP CVD SiC ċriekijista 'jintuża għat-tisħin u t-tkessiħ ta' tagħmir semikonduttur, li jipprovdi kontroll stabbli tat-temperatura u jiżgura l-eżattezza u l-konsistenza tal-proċess.
2. Optoelectronics: Minħabba l-konduttività termali eċċellenti tagħha u r-reżistenza għat-temperatura għolja, RTPĊrieki CVD SiCjistgħu jintużaw bħala appoġġ u materjali ta 'dissipazzjoni tas-sħana għal lejżers, tagħmir ta' komunikazzjoni tal-fibra ottika u komponenti ottiċi.
3. Makkinarju ta 'preċiżjoni: Ċrieki RTP CVD SiC jistgħu jintużaw għal strumenti u tagħmir ta' preċiżjoni f'ambjenti ta 'temperatura għolja u korrużivi, bħal fran ta' temperatura għolja, apparati vakwu u reatturi kimiċi.
4. Industrija kimika: Minħabba r-reżistenza għall-korrużjoni u l-istabbiltà kimika tagħha, ċrieki RTP CVD SiC jistgħu jintużaw f'kontenituri, pajpijiet u reatturi f'reazzjonijiet kimiċi u proċessi katalitiċi.
Sistema Epi
Sistema RTP
Sistema CVD
Prestazzjoni tal-prodott:
1. Iltaqa 'mal-proċess taħt 28nm
2. Super reżistenza għall-korrużjoni
3. Prestazzjoni super nadifa
4. Super ebusija
5. Densità għolja
6. Reżistenza għat-temperatura għolja
7. Ilbes reżistenza
Applikazzjoni tal-prodott:
Il-materjali tal-karbur tas-silikon għandhom il-karatteristiċi ta 'ebusija għolja, reżistenza għall-ilbies, reżistenza għall-korrużjoni u stabbiltà fit-temperatura għolja. Prodotti b'prestazzjoni komprensiva eċċellenti jintużaw ħafna fil-proċessi ta 'inċiżjoni niexfa u TF/Diffusion.
Prestazzjoni tal-prodott:
1. Iltaqa 'mal-proċess taħt 28nm
2. Super reżistenza għall-korrużjoni
3. Prestazzjoni super nadifa
4. Super ebusija
5. Densità għolja
6. Reżistenza għat-temperatura għolja
7. Ilbes reżistenza
Żvilupp tal-proċess kompost:
• Kisi tal-grafita + SiC
• Solide CVD SiC
• SiC+CVD sinterizzat
• SicSintered SiC
Żvilupp tat-tip ta' prodotti multipli:
• Ċirku
• Tabella
• Susceptor
• Kap tad-doċċa