Susceptor tal-kanna miksi mill-karbur tas-silikon għal Wafer Epitaxial

Susceptor tal-kanna miksi mill-karbur tas-silikon għall-immaġni dehru epitassjali tal-wafer

Deskrizzjoni qasira:

Semicera toffri firxa komprensiva ta 'susceptors u komponenti tal-grafita ddisinjati għal diversi reatturi ta' epitaxy.

Permezz ta 'sħubiji strateġiċi ma' OEMs ewlenin fl-industrija, għarfien espert estensiv tal-materjali, u kapaċitajiet ta 'manifattura avvanzati, Semicera tagħti disinji mfassla biex jissodisfaw ir-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni tiegħek. L-impenn tagħna għall-eċċellenza jiżgura li tirċievi l-aħjar soluzzjonijiet għall-ħtiġijiet tiegħek tar-reattur epitassija.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Kumpanija tagħna tipprovdiKisi SiCservizzi ta 'proċessar fuq il-wiċċ tal-grafita, ċeramika u materjali oħra bil-metodu CVD, sabiex gassijiet speċjali li jkun fihom karbonju u silikon jistgħu jirreaġixxu f'temperatura għolja biex jiksbu molekuli Sic ta' purità għolja, li jistgħu jiġu depożitati fuq il-wiċċ ta 'materjali miksija biex jiffurmaw aSaff protettiv tas-SiCgħal epitaxy barmil tip hy pnotic.

Karatteristiċi ewlenin:

1 .Grafit miksija b'SiC ta 'purità għolja

2. Superjuri reżistenza tas-sħana & uniformità termali

3. MultaSiC kristall miksigħal wiċċ lixx

4. Durabilità għolja kontra t-tindif kimiku

Susceptor tal-kanna miksija b'SiC għal Wafer Epitaxial

Speċifikazzjonijiet ewlenin ta 'Kisi CVD-SIC

SiC-CVD Proprjetajiet
Struttura tal-kristall	Fażi FCC β
Densità	g/ċm ³	3.21
Ebusija	Ebusija Vickers	2500
Daqs tal-qamħ	μm	2~10
Purità Kimika	%	99.99995
Kapaċità tas-Sħana	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura tas-sublimazzjoni	℃	2700
Qawwa Felexural	MPa (RT 4-punti)	415
Modulus taż-żgħażagħ	Gpa (liwja 4pt, 1300℃)	430
Espansjoni Termali (CTE)	10-6K-1	4.5
Konduttività termali	(W/mK)	300