Semicerajintroduċi l-Cassette semikonduttur, għodda essenzjali għall-immaniġġjar sigur u effiċjenti tal-wejfers matul il-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi. Inġinerija bi preċiżjoni għolja, dan il-cassette jiżgura li l-wejfers tiegħek jinħażnu u jiġu ttrasportati b'mod sikur, filwaqt li jżommu l-integrità tagħhom f'kull stadju.
Protezzjoni Superjuri u DurabilitàIl-Cassette semikondutturminn Semicera hija mibnija biex toffri protezzjoni massima lill-wejfers tiegħek. Mibnija minn materjali robusti u reżistenti għall-kontaminazzjoni, tipproteġi l-wejfers tiegħek minn ħsara potenzjali u kontaminazzjoni, u tagħmilha għażla ideali għal ambjenti ta' cleanroom. Id-disinn tal-cassette jimminimizza l-ġenerazzjoni tal-partikuli u jiżgura li l-wejfers jibqgħu mhux mittiefsa u siguri waqt l-immaniġġjar u t-trasport.
Disinn Mtejjeb għal Prestazzjoni OttimalSemicera'sCassette semikondutturkaratteristiċi ta 'disinn metikolożimament inġinerija li jipprovdi allinjament wejfer preċiż, inaqqas ir-riskju ta' allinjament ħażin u ħsara mekkanika. Is-slots tal-cassette huma spazjati perfettament biex iżommu kull wejfer b'mod sikur, u jipprevjenu kwalunkwe moviment li jista 'jirriżulta fi grif jew imperfezzjonijiet oħra.
Versatilità u KompatibilitàIl-Cassette semikondutturhuwa versatili u kompatibbli ma 'diversi daqsijiet ta' wejfer, li jagħmilha adattata għal stadji differenti ta 'fabbrikazzjoni ta' semikondutturi. Kemm jekk qed taħdem b'dimensjonijiet standard jew personalizzati tal-wejfer, dan il-cassette jadatta għall-bżonnijiet tiegħek, u joffri flessibilità fil-proċessi tal-manifattura tiegħek.
Immaniġġjar u Effiċjenza ssimplifikatiIddisinjat bl-utent f'moħħu, il-Semicera Semiconductor Cassettehija ħafifa u faċli biex timmaniġġjaha, li tippermetti tagħbija u ħatt malajr u effiċjenti. Dan id-disinn ergonomiku mhux biss jiffranka l-ħin iżda jnaqqas ukoll ir-riskju ta 'żball uman, u jiżgura operazzjonijiet bla xkiel fil-faċilità tiegħek.
Nilħqu l-Istandards tal-IndustrijaSemicera jiżgura li l-Cassette semikondutturjissodisfa l-ogħla standards tal-industrija għall-kwalità u l-affidabbiltà. Kull cassette jgħaddi minn testijiet rigorużi biex jiggarantixxi li jwettaq b'mod konsistenti taħt il-kundizzjonijiet eżiġenti tal-manifattura tas-semikondutturi. Din id-dedikazzjoni għall-kwalità tiżgura li l-wejfers tiegħek huma dejjem protetti, billi żżomm l-istandards għoljin meħtieġa fl-industrija.
Oġġetti | Produzzjoni | Riċerka | Manikin |
Parametri tal-kristall | |||
Politip | 4H | ||
Żball fl-orjentazzjoni tal-wiċċ | <11-20> 4±0.15° | ||
Parametri elettriċi | |||
Dopant | Nitroġenu tat-tip n | ||
Reżistenza | 0.015-0.025ohm · ċm | ||
Parametri Mekkaniċi | |||
Dijametru | 150.0±0.2mm | ||
Ħxuna | 350±25 μm | ||
Orjentazzjoni ċatta primarja | [1-100]±5° | ||
Tul ċatt primarju | 47.5±1.5mm | ||
Flat sekondarju | Xejn | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
pruwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Medd | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Quddiem (Si-face) ħruxija (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
Struttura | |||
Densità tal-mikropipe | <1 ea/ċm2 | <10 ea/ċm2 | <15 ea/ċm2 |
Impuritajiet tal-metall | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kwalità ta 'quddiem | |||
Quddiem | Si | ||
Finitura tal-wiċċ | Si-face CMP | ||
Partiċelli | ≤60ea/wejfer (size≥0.3μm) | NA | |
Grif | ≤5ea/mm. Tul kumulattiv ≤Diametru | Long≤2*Dijametru kumulattiv | NA |
Qoxra tal-larinġ/fosos/tbajja/strijazzjonijiet/xquq/kontaminazzjoni | Xejn | NA | |
Ċipep tat-tarf/inċiżi/ksur/pjanċi hex | Xejn | ||
Żoni tal-politip | Xejn | Żona kumulattiva≤20% | Żona kumulattiva≤30% |
Immarkar bil-lejżer ta 'quddiem | Xejn | ||
Lura Kwalità | |||
Temm lura | C-wiċċ CMP | ||
Grif | ≤5ea/mm, tul kumulattiv≤2 * Dijametru | NA | |
Difetti tad-dahar (laqx tat-tarf/inċiżi) | Xejn | ||
Ħruxija tad-dahar | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
L-immarkar bil-lejżer lura | 1 mm (mit-tarf ta' fuq) | ||
Xifer | |||
Xifer | Ċanfrin | ||
Ippakkjar | |||
Ippakkjar | Epi-lest b'ippakkjar bil-vakwu Ippakkjar tal-cassette multi-wejfer | ||
*Noti: "NA" tfisser l-ebda talba Oġġetti mhux imsemmija jistgħu jirreferu għal SEMI-STD. |