Semicera'sPaddles SiChuma mfassla għal espansjoni termali minima, li jipprovdu stabbiltà u preċiżjoni fi proċessi fejn l-eżattezza dimensjonali hija kritika. Dan jagħmilhom ideali għal applikazzjonijiet fejnwejfershuma soġġetti għal ċikli ripetuti ta 'tisħin u tkessiħ, peress li d-dgħajsa tal-wejfer iżżomm l-integrità strutturali tagħha, u tiżgura prestazzjoni konsistenti.
Jinkorporaw Semicera'spaddles tad-diffużjoni tal-karbur tas-silikonfil-linja tal-produzzjoni tiegħek ser ittejjeb l-affidabilità tal-proċess tiegħek, grazzi għall-proprjetajiet termali u kimiċi superjuri tagħhom. Dawn il-paddles huma perfetti għal proċessi ta 'diffużjoni, ossidazzjoni u ttemprar, u jiżguraw li l-wejfers jiġu mmaniġġjati b'attenzjoni u preċiżjoni matul kull pass.
L-innovazzjoni hija fil-qalba ta' Semicera'sPaddle SiCdisinn. Dawn il-paddles huma mfassla biex joqogħdu bla xkiel fit-tagħmir semikonduttur eżistenti, u jipprovdu effiċjenza mtejba fl-immaniġġjar. L-istruttura ħafifa u d-disinn ergonomiku mhux biss itejbu t-trasport tal-wejfers iżda wkoll inaqqsu l-perijodi ta 'waqfien operattiv, li jirriżultaw fi produzzjoni ssimplifikata.
| Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat | |
| Proprjetà | Valur Tipiku |
| Temperatura tax-xogħol (°C) | 1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas) |
| Kontenut SiC | > 99.96% |
| Ħieles Si kontenut | < 0.1% |
| Densità tal-massa | 2.60-2.70 g/ċm3 |
| Porożità apparenti | < 16% |
| Saħħa tal-kompressjoni | > 600 MPa |
| Saħħa tal-liwi kiesaħ | 80-90 MPa (20°C) |
| Saħħa tal-liwi sħun | 90-100 MPa (1400°C) |
| Espansjoni termali @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Konduttività termali @1200°C | 23 W/m•K |
| Modulu elastiku | 240 GPa |
| Reżistenza għal xokk termali | Tajjeb ħafna |
