Is-SemiceraSiC Cantilever Wafer Paddlehija mfassla biex tissodisfa t-talbiet tal-manifattura moderna tas-semikondutturi. Danjaqdfu wejferjoffri saħħa mekkanika eċċellenti u reżistenza termali, li hija kritika għall-immaniġġjar tal-wejfers f'ambjenti b'temperatura għolja.
Id-disinn tal-cantilever SiC jippermetti t-tqegħid preċiż tal-wejfer, u jnaqqas ir-riskju ta 'ħsara waqt l-immaniġġjar. Il-konduttività termali għolja tagħha tiżgura li l-wejfer jibqa 'stabbli anke taħt kundizzjonijiet estremi, li huwa kritiku għaż-żamma tal-effiċjenza tal-produzzjoni.
Minbarra l-vantaġġi strutturali tagħha, Semicera'sSiC Cantilever Wafer Paddlejoffri wkoll vantaġġi fil-piż u d-durabilità. Il-kostruzzjoni ħafifa tagħmilha aktar faċli biex timmaniġġa u tintegra fis-sistemi eżistenti, filwaqt li l-materjal SiC ta 'densità għolja jiżgura durabilità fit-tul taħt kundizzjonijiet eżiġenti.
| Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat | |
| Proprjetà | Valur Tipiku |
| Temperatura tax-xogħol (°C) | 1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas) |
| Kontenut SiC | > 99.96% |
| Ħieles Si kontenut | < 0.1% |
| Densità tal-massa | 2.60-2.70 g/ċm3 |
| Porożità apparenti | < 16% |
| Saħħa tal-kompressjoni | > 600 MPa |
| Saħħa tal-liwi kiesaħ | 80-90 MPa (20°C) |
| Saħħa tal-liwi sħun | 90-100 MPa (1400°C) |
| Espansjoni termali @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Konduttività termali @1200°C | 23 W/m•K |
| Modulu elastiku | 240 GPa |
| Reżistenza għal xokk termali | Tajjeb ħafna |
