Deskrizzjoni
Kumpanija tagħna tipprovdiKisi SiCservizzi ta 'proċess bil-metodu CVD fuq il-wiċċ tal-grafita, ċeramika u materjali oħra, sabiex gassijiet speċjali li jkun fihom karbonju u silikon jirreaġixxu f'temperatura għolja biex jiksbu molekuli SiC ta' purità għolja, molekuli depożitati fuq il-wiċċ tal-miksijamaterjali, li jiffurmaw saff protettiv SIC.
Il-karatteristiċi tal-irjus tad-doċċa SiC huma kif ġej:
1. Reżistenza għall-korrużjoni: Il-materjal SiC għandu reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti u jista 'jiflaħ l-erożjoni ta' diversi likwidi u soluzzjonijiet kimiċi, u huwa adattat għal varjetà ta 'proċessi ta' proċessar kimiku u trattament tal-wiċċ.
2. Stabbiltà ta 'temperatura għolja:Żennuni SiCjistgħu jżommu stabbiltà strutturali f'ambjenti ta 'temperatura għolja u huma adattati għal applikazzjonijiet li jeħtieġu trattament ta' temperatura għolja.
3. Bexx uniformi:Żennuna SiCdisinn għandu prestazzjoni tajba ta 'kontroll tal-bexx, li jista' jikseb distribuzzjoni uniformi tal-likwidu u jiżgura li l-likwidu tat-trattament ikun miksi b'mod uniformi fuq il-wiċċ fil-mira.
4. Reżistenza għolja għall-ilbies: materjal SiC għandu ebusija għolja u reżistenza għall-ilbies u jista 'jiflaħ użu u frizzjoni fit-tul.
L-irjus tad-doċċa tas-SiC jintużaw ħafna fi proċessi ta 'trattament likwidu fil-manifattura tas-semikondutturi, ipproċessar kimiku, kisi tal-wiċċ, electroplating u oqsma industrijali oħra. Jista 'jipprovdi effetti ta' bexx stabbli, uniformi u affidabbli biex jiżgura l-kwalità u l-konsistenza tal-ipproċessar u t-trattament.
Karatteristiċi Ewlenin
1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja:
ir-reżistenza għall-ossidazzjoni għadha tajba ħafna meta t-temperatura tkun għolja daqs 1600 C.
2. Purità għolja: magħmula minn depożizzjoni ta 'fwar kimiku taħt kundizzjoni ta' klorinazzjoni f'temperatura għolja.
3. Reżistenza għall-erożjoni: ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
4. Reżistenza għall-korrużjoni: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
Speċifikazzjonijiet ewlenin tal-Kisi CVD-SIC
| SiC-CVD Proprjetajiet | ||
| Struttura tal-kristall | Fażi FCC β | |
| Densità | g/ċm ³ | 3.21 |
| Ebusija | Ebusija Vickers | 2500 |
| Daqs tal-qamħ | μm | 2~10 |
| Purità Kimika | % | 99.99995 |
| Kapaċità tas-Sħana | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Temperatura tas-sublimazzjoni | ℃ | 2700 |
| Qawwa Felexural | MPa (RT 4-punti) | 415 |
| Modulus taż-żgħażagħ | Gpa (liwja 4pt, 1300℃) | 430 |
| Espansjoni Termali (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Konduttività termali | (W/mK) | 300 |
