Ħarsa ġenerali tal-prodott
Il-Carbur tas-Silikon Mimlijin bis-Silikon (SiC) Paddle u Wafer Carrierhija mfassla biex tissodisfa r-rekwiżiti eżiġenti tal-applikazzjonijiet tal-ipproċessar termali tas-semikondutturi. Magħmul minn SiC ta 'purità għolja u msaħħaħ permezz ta' impregnazzjoni tas-silikon, dan il-prodott joffri taħlita unika ta 'prestazzjoni f'temperatura għolja, konduttività termali eċċellenti, reżistenza għall-korrużjoni u saħħa mekkanika eċċellenti.
Billi tintegra x-xjenza tal-materjal avvanzata mal-manifattura ta 'preċiżjoni, din is-soluzzjoni tiżgura prestazzjoni superjuri, affidabilità u durabilità għall-manifatturi tas-semikondutturi.
Karatteristiċi Ewlenin
1.Reżistenza Eċċezzjonali għat-Temperatura Għolja
B'punt tat-tidwib li jaqbeż l-2700 ° C, materjali SiC huma intrinsikament stabbli taħt sħana estrema. L-impregnazzjoni tas-silikon tkompli ttejjeb l-istabbiltà termali tagħhom, li tippermettilhom jifilħu espożizzjoni fit-tul għal temperaturi għoljin mingħajr dgħjufija strutturali jew degradazzjoni tal-prestazzjoni.
2.Konduttività Termali Superjuri
Il-konduttività termali eċċezzjonali tas-SiC mimli bis-silikon tiżgura distribuzzjoni uniformi tas-sħana, u tnaqqas l-istress termali matul l-istadji kritiċi tal-ipproċessar. Din il-proprjetà ttawwal il-ħajja tat-tagħmir u timminimizza l-waqfien tal-produzzjoni, u tagħmilha ideali għall-ipproċessar termali b'temperatura għolja.
3.Reżistenza għall-ossidazzjoni u l-korrużjoni
Saff robust ta 'ossidu tas-silikon jifforma b'mod naturali fuq il-wiċċ, li jipprovdi reżistenza eċċellenti għall-ossidazzjoni u l-korrużjoni. Dan jiżgura affidabilità fit-tul f'ambjenti operattivi ħarxa, u jipproteġi kemm il-materjal kif ukoll il-komponenti tal-madwar.
4.Qawwa Mekkanika Għolja u Reżistenza għall-Ilbes
Is-SiC mimli bis-silikon għandu saħħa kompressiva eċċellenti u reżistenza għall-ilbies, u jżomm l-integrità strutturali tiegħu taħt kundizzjonijiet ta 'tagħbija għolja u temperatura għolja. Dan inaqqas ir-riskju ta 'ħsara relatata mal-ilbies, u jiżgura prestazzjoni konsistenti fuq ċikli ta' użu estiżi.
Speċifikazzjonijiet
| Isem tal-Prodott | SC-RSiC-Si |
| Materjal | Impregnazzjoni tas-Silikon Karbur tas-Silikon Compact (purità għolja) |
| Applikazzjonijiet | Partijiet tat-Trattament tas-Sħana Semikondutturi, Partijiet tat-Tagħmir tal-Manifattura tas-Semikondutturi |
| Formola tal-kunsinna | Korp iffurmat (Korp sinterizzat) |
| Kompożizzjoni | Proprjetà Mekkanika | Modulu ta' Young (GPa) | Qawwa tal-liwi (MPa) | ||
| Kompożizzjoni (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Densità tal-massa (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Heatproof Temperatura °C | 1350 | Proporzjon ta' Poisson | 0.18(RT) | ||
| Proprjetà Termali | Konduttività Termali (W/(m· K)) | Kapaċità Speċifika tas-Sħana (kJ/(kg·K)) | Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700 ~ 1200°C | 4.3 x10-6 | |
| Kontenut ta' Impurità ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Rata tal-Kontenut | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Applikazzjonijiet
▪Ipproċessar Termali tas-Semikondutturi:Ideali għal proċessi bħal depożizzjoni tal-fwar kimiku (CVD), tkabbir epitassjali, u ttemprar, fejn il-kontroll preċiż tat-temperatura u d-durabilità tal-materjal huma kritiċi.
▪Wejfer Carriers & Paddles:Iddisinjati biex iżommu u jittrasportaw wejfers b'mod sikur waqt trattamenti termali b'temperatura għolja.
▪Ambjenti Operattivi Estremi: Adattat għal settings li jeħtieġu reżistenza għas-sħana, espożizzjoni kimika, u stress mekkaniku.
Vantaġġi ta 'SiC impregnat bis-Silikon
Il-kombinazzjoni ta 'karbur tas-silikon ta' purità għolja u teknoloġija avvanzata ta 'impregnazzjoni tas-silikon tagħti benefiċċji ta' prestazzjoni mingħajr paragun:
▪Preċiżjoni:Ittejjeb l-eżattezza u l-kontroll tal-ipproċessar tas-semikondutturi.
▪Stabbiltà:Jiflaħ ambjenti ħarxa mingħajr ma tikkomprometti l-funzjonalità.
▪Lonġevità:Jestendi l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi.
▪Effiċjenza:Ittejjeb il-produttività billi tiżgura riżultati affidabbli u konsistenti.
Għaliex Agħżel is-Soluzzjonijiet Tagħna SiC Mimlijin bis-Silikon?
At Semicera, aħna jispeċjalizzaw fil-provvista ta 'soluzzjonijiet ta' prestazzjoni għolja mfassla għall-ħtiġijiet tal-manifatturi tas-semikondutturi. Il-Paddle u l-Wafer Carrier tagħna tal-Karbur tas-Silikon Mimlijin bis-Silikon jgħaddu minn testijiet rigorużi u assigurazzjoni tal-kwalità biex jilħqu l-istandards tal-industrija. Billi tagħżel Semicera, ikollok aċċess għal materjali avvanzati ddisinjati biex jottimizzaw il-proċessi tal-manifattura tiegħek u jtejbu l-kapaċitajiet tal-produzzjoni tiegħek.
Speċifikazzjonijiet Tekniċi
▪Kompożizzjoni tal-Materjal:Karbur tas-silikon ta 'purità għolja b'impregnazzjoni tas-silikon.
▪Firxa tat-Temperatura Operattiva:Sa 2700°C.
▪ Konduttività Termali:Eċċezzjonalment għoli għal distribuzzjoni uniformi tas-sħana.
▪Proprjetajiet tar-reżistenza:Ossidazzjoni, korrużjoni, u reżistenti għall-ilbies.
▪Applikazzjonijiet:Kompatibbli ma 'diversi sistemi ta' pproċessar termali semikondutturi.
Ikkuntattjana
Lest biex tgħolli l-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi tiegħek? KuntattSemiceraillum biex titgħallem aktar dwar il-Paddle u l-Wafer Carrier tagħna ta 'Silikon-Impregnated Carbide.
▪Email: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Post:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Provinċja ta 'Zhejiang, 315201, iċ-Ċina
