Trasportaturi tal-wejfer epitassjali miksija b'TaChuma ġeneralment użati fil-preparazzjoni ta 'apparati optoelettroniċi ta' prestazzjoni għolja, apparati ta 'enerġija, sensuri u oqsma oħra. Dantrasportatur tal-wejfer epitassjalijirreferi għad-depożizzjoni taTaCfilm irqiq fuq is-sottostrat matul il-proċess tat-tkabbir tal-kristall biex tifforma wejfer bi struttura u prestazzjoni speċifika għall-preparazzjoni sussegwenti tal-apparat.
It-teknoloġija tad-depożizzjoni tal-fwar kimiku (CVD) normalment tintuża biex tippreparaTrasportaturi tal-wejfer epitassjali miksija b'TaC. Billi jirreaġixxi prekursuri organiċi tal-metall u gassijiet tas-sors tal-karbonju f'temperatura għolja, film TaC jista 'jiġi depożitat fuq il-wiċċ tas-sottostrat tal-kristall. Dan il-film jista 'jkollu proprjetajiet elettriċi, ottiċi u mekkaniċi eċċellenti u huwa adattat għall-preparazzjoni ta' diversi apparati ta 'prestazzjoni għolja.
Semicera jipprovdi kisjiet speċjalizzati tal-karbur tat-tantalu (TaC) għal diversi komponenti u trasportaturi.Il-proċess tal-kisi ewlieni tas-Semicera jippermetti kisjiet tal-karbur tat-tantalu (TaC) biex jiksbu purità għolja, stabbiltà ta 'temperatura għolja u tolleranza kimika għolja, ittejjeb il-kwalità tal-prodott tal-kristalli SIC/GAN u saffi EPI (Susceptor TaC miksi bil-grafita), u l-estensjoni tal-ħajja tal-komponenti ewlenin tar-reattur. L-użu tal-kisi TaC tal-karbur tat-tantalu huwa li ssolvi l-problema tat-tarf u jtejjeb il-kwalità tat-tkabbir tal-kristall, u Semicera ssolviet it-teknoloġija tal-kisi tal-karbur tat-tantalu (CVD), laħqet il-livell avvanzat internazzjonali.
Wara snin ta 'żvilupp, Semicera rebaħ it-teknoloġija ta'CVD TaCbl-isforzi konġunti tad-dipartiment tal-R&D. Id-difetti huma faċli li jseħħu fil-proċess tat-tkabbir tal-wejfers tas-SiC, iżda wara l-użuTaC, id-differenza hija sinifikanti. Hawn taħt hemm paragun ta 'wejfers bi u mingħajr TaC, kif ukoll partijiet ta' Simicera għal tkabbir ta 'kristall wieħed.
bi u mingħajr TaC
Wara li tuża TaC (lemin)
Barra minn hekk, Semicera'sProdotti miksija bit-TaCjuru ħajja ta 'servizz itwal u reżistenza akbar għat-temperatura għolja meta mqabbla ma'Kisi SiC.Kejl tal-laboratorju wrew li tagħnaKisi tat-TaCjista 'jwettaq b'mod konsistenti f'temperaturi sa 2300 grad Celsius għal perjodi estiżi. Hawn taħt hawn xi eżempji tal-kampjuni tagħna: