Introduzzjoni għall-Kisi CVD TaC:
Il-kisi ta 'CVD TaC hija teknoloġija li tuża depożizzjoni kimika tal-fwar biex tiddepożita kisi tal-karbur tat-tantalu (TaC) fuq il-wiċċ ta' sottostrat. Il-karbur tat-tantalu huwa materjal taċ-ċeramika ta 'prestazzjoni għolja bi proprjetajiet mekkaniċi u kimiċi eċċellenti. Il-proċess CVD jiġġenera film TaC uniformi fuq il-wiċċ tas-sottostrat permezz ta 'reazzjoni tal-gass.
Karatteristiċi ewlenin:
Ebusija eċċellenti u reżistenza għall-ilbies: Il-karbur tat-tantalu għandu ebusija estremament għolja, u l-Kisi CVD TaC jista 'jtejjeb b'mod sinifikanti r-reżistenza għall-ilbies tas-sottostrat. Dan jagħmel il-kisi ideali għal applikazzjonijiet f'ambjenti ta 'xedd għoli, bħal għodod tal-qtugħ u forom.
Stabbiltà f'Temperatura Għolja: Il-kisi tat-TaC jipproteġi l-komponenti kritiċi tal-forn u tar-reattur f'temperaturi sa 2200°C, li juru stabbiltà tajba. Iżomm l-istabbiltà kimika u mekkanika taħt kundizzjonijiet ta 'temperatura estrema, li jagħmilha adattata għall-ipproċessar ta' temperatura għolja u applikazzjonijiet f'ambjenti ta 'temperatura għolja.
Stabbiltà kimika eċċellenti: Il-karbur tat-tantalu għandu reżistenza qawwija għall-korrużjoni għall-biċċa l-kbira tal-aċidi u l-alkali, u l-Kisi ta 'CVD TaC jista' effettivament jipprevjeni ħsara lis-sottostrat f'ambjenti korrużivi.
Punt ta 'tidwib għoli: Il-karbur tat-tantalu għandu punt ta 'tidwib għoli (bejn wieħed u ieħor 3880 ° C), li jippermetti li l-Kisi ta' CVD TaC jintuża f'kundizzjonijiet ta 'temperatura għolja estrema mingħajr tidwib jew degradazzjoni.
Konduttività termali eċċellenti: Il-kisja tat-TaC għandha konduttività termali għolja, li tgħin biex tinħela b'mod effettiv is-sħana fi proċessi ta 'temperatura għolja u tevita sħana żejda lokali.
Applikazzjonijiet potenzjali:
• Komponenti tar-reattur CVD epitassjali tan-Nitrur tal-Gallju (GaN) u tas-Silikon Carbide inklużi wafer carriers, dixxijiet tas-satellita, showerheads, soqfa, u susceptors
• Komponenti tat-tkabbir tal-kristall tal-karbur tas-silikon, nitrur tal-gallju u nitrur tal-aluminju (AlN) inklużi griġjoli, kontenituri taż-żerriegħa, ċrieki gwida u filtri
• Komponenti industrijali inklużi elementi ta 'tisħin ta' reżistenza, żennuni ta 'l-injezzjoni, ċrieki tal-masking u jigs tal-ibbrejżjar
Karatteristiċi tal-applikazzjoni:
• Temperatura stabbli 'l fuq minn 2000 ° C, li tippermetti tħaddim f'temperaturi estremi
• Reżistenti għall-idroġenu (Hz), ammonja (NH3), monosilane (SiH4) u silikon (Si), li jipprovdu protezzjoni f'ambjenti kimiċi ħarxa
• Ir-reżistenza tax-xokk termali tagħha tippermetti ċikli operattivi aktar mgħaġġla
• Il-grafita għandha adeżjoni qawwija, li tiżgura ħajja twila ta 'servizz u l-ebda delaminazzjoni tal-kisi.
• Purità ultra-għolja biex telimina impuritajiet jew kontaminanti mhux meħtieġa
• Kopertura ta 'kisi konformi għal tolleranzi dimensjonali stretti
Speċifikazzjonijiet tekniċi:
Preparazzjoni ta 'kisi dens tal-karbur tat-tantalu permezz ta' CVD：
Kisi TAC b'kristallinità għolja u uniformità eċċellenti:
KISI TAC CVD Parametri Tekniċi_Semicera:
Dawn ta' hawn fuq huma valuri tipiċi.
