TaC Coated Plate hija diska speċjalizzata ddisinjata għall-użu fi proċessi epitassjali SiC, maħduma bi preċiżjoni minn materjal tal-grafita ta 'kwalità għolja. Il-wiċċ tiegħu huwa miksi bir-reqqa b'karbur tat-tantalu (TaC), kompost magħruf għall-purità u s-saħħa eċċezzjonali tiegħu. Il-kisi tat-TaC itejjeb id-durabilità u r-reżistenza tal-pjanċa għal temperaturi għoljin, u jagħmilha ideali għall-kundizzjonijiet eżiġenti tal-proċessi epitassjali tas-SiC.
Din il-Pjanċa Miksija TaC innovattiva hija diska speċjalizzata ddisinjata għall-użu fi proċessi epitassjali SiC, maħduma bi preċiżjoni minn materjal tal-grafita ta 'kwalità għolja. Il-wiċċ tal-Pjanċa Miksija TaC huwa miksi bir-reqqa b'karbur tat-tantalu (TaC), kompost magħruf għall-purità u s-saħħa eċċezzjonali tiegħu. isservi bħala pjattaforma affidabbli għall-ġarr ta 'wejfers matul diversi stadji ta' tkabbir epitassjali SiC. Il-bażi tal-grafita ta 'purità għolja tagħha tipprovdi wiċċ stabbli u inert, filwaqt li l-kisi tat-TaC iżid saff addizzjonali ta' protezzjoni kontra reazzjonijiet kimiċi u xedd.
SemiceraIl-Pjanċa Miksija TaC hija personalizzata skont ir-rekwiżiti speċifiċi tal-klijenti, u tiżgura l-aħjar prestazzjoni u kompatibilità mas-sistemi epitassjali SiC tagħhom. Kemm jekk huwa daqs, forma, jew speċifikazzjonijiet oħra, dawn il-pjanċi huma mfassla biex jissodisfaw il-ħtiġijiet uniċi ta 'kull applikazzjoni.
bi u mingħajr TaC
Wara li tuża TaC (lemin)
Barra minn hekk, Semicera'sProdotti miksija bit-TaCjuru ħajja ta 'servizz itwal u reżistenza akbar għat-temperatura għolja meta mqabbla ma'Kisi SiC.Kejl tal-laboratorju wrew li tagħnaKisi tat-TaCjista 'jwettaq b'mod konsistenti f'temperaturi sa 2300 grad Celsius għal perjodi estiżi. Hawn taħt hawn xi eżempji tal-kampjuni tagħna:
