Semicera jipprovdi kisjiet speċjalizzati tal-karbur tat-tantalu (TaC) għal diversi komponenti u trasportaturi.Il-proċess tal-kisi ewlieni tas-Semicera jippermetti kisjiet tal-karbur tat-tantalu (TaC) biex jiksbu purità għolja, stabbiltà ta 'temperatura għolja u tolleranza kimika għolja, ittejjeb il-kwalità tal-prodott tal-kristalli SIC/GAN u saffi EPI (Susceptor TaC miksi bil-grafita), u l-estensjoni tal-ħajja tal-komponenti ewlenin tar-reattur. L-użu tal-kisi TaC tal-karbur tat-tantalu huwa li ssolvi l-problema tat-tarf u jtejjeb il-kwalità tat-tkabbir tal-kristall, u Semicera ssolviet it-teknoloġija tal-kisi tal-karbur tat-tantalu (CVD), laħqet il-livell avvanzat internazzjonali.
Il-grafita hija materjal eċċellenti ta 'temperatura għolja, iżda jossidizza faċilment f'temperaturi għoljin. Anke fi fran tal-vakwu b'gass inert, xorta jista 'jgħaddi minn ossidazzjoni bil-mod. L-użu ta 'kisi tal-karbur tat-tantalu CVD (TaC) jista' jipproteġi b'mod effettiv is-sottostrat tal-grafita, u jipprovdi l-istess reżistenza għat-temperatura għolja bħall-grafita. TaC huwa wkoll materjal inert, li jfisser li mhux se jirreaġixxi ma 'gassijiet bħal argon jew idroġenu f'temperaturi għoljin.InkjestaGriġjol tal-kisi CVD tal-karbur tat-tantalu issa!
Wara snin ta 'żvilupp, Semicera rebaħ it-teknoloġija ta'CVD TaCbl-isforzi konġunti tad-dipartiment tal-R&D. Id-difetti huma faċli li jseħħu fil-proċess tat-tkabbir tal-wejfers tas-SiC, iżda wara l-użuTaC, id-differenza hija sinifikanti. Hawn taħt hemm paragun ta 'wejfers bi u mingħajr TaC, kif ukoll partijiet ta' Simicera għal tkabbir ta 'kristall wieħed.
bi u mingħajr TaC
Wara li tuża TaC (lemin)
Barra minn hekk, Semicera'sProdotti miksija bit-TaCjuru ħajja ta 'servizz itwal u reżistenza akbar għat-temperatura għolja meta mqabbla ma'Kisi SiC.Kejl tal-laboratorju wrew li tagħnaKisi tat-TaCjista 'jwettaq b'mod konsistenti f'temperaturi sa 2300 grad Celsius għal perjodi estiżi. Hawn taħt hawn xi eżempji tal-kampjuni tagħna:
