Semicera jipprovdi kisjiet speċjalizzati tal-karbur tat-tantalu (TaC) għal diversi komponenti u trasportaturi.Il-proċess tal-kisi ewlieni tas-Semicera jippermetti kisjiet tal-karbur tat-tantalu (TaC) biex jiksbu purità għolja, stabbiltà ta 'temperatura għolja u tolleranza kimika għolja, ittejjeb il-kwalità tal-prodott tal-kristalli SIC/GAN u saffi EPI (Susceptor TaC miksi bil-grafita), u l-estensjoni tal-ħajja tal-komponenti ewlenin tar-reattur. L-użu tal-kisi TaC tal-karbur tat-tantalu huwa li ssolvi l-problema tat-tarf u jtejjeb il-kwalità tat-tkabbir tal-kristall, u Semicera ssolviet it-teknoloġija tal-kisi tal-karbur tat-tantalu (CVD), laħqet il-livell avvanzat internazzjonali.
It-trasportaturi tal-wejfer miksija bil-karbur tat-tantalu jintużaw ħafna fil-proċessi tal-ipproċessar u l-immaniġġjar tal-wejfers fil-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi. Huma jipprovdu appoġġ stabbli u protezzjoni biex jiżguraw is-sigurtà, l-eżattezza u l-konsistenza tal-wejfers matul il-proċess tal-manifattura. Kisjiet tal-karbur tat-tantalu jistgħu jestendu l-ħajja tas-servizz tat-trasportatur, inaqqsu l-ispejjeż, u jtejbu l-kwalità u l-affidabbiltà tal-prodotti semikondutturi.
Id-deskrizzjoni tat-trasportatur tal-wejfer miksi bil-karbur tat-tantalu hija kif ġej:
1. Għażla ta 'materjal: Il-karbur tat-tantalu huwa materjal b'rendiment eċċellenti, ebusija għolja, punt ta' tidwib għoli, reżistenza għall-korrużjoni u proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti, għalhekk huwa użat ħafna fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi.
2. Kisi tal-wiċċ: Il-kisja tal-karbur tat-tantalu tiġi applikata fuq il-wiċċ tat-trasportatur tal-wejfer permezz ta 'proċess ta' kisi speċjali biex tifforma kisi tal-karbur tat-tantalu uniformi u dens. Dan il-kisi jista 'jipprovdi protezzjoni addizzjonali u reżistenza għall-ilbies, filwaqt li jkollu konduttività termali tajba.
3. Flatness u preċiżjoni: It-trasportatur tal-wejfer miksi bil-karbur tat-tantalu għandu grad għoli ta 'flatness u preċiżjoni, li jiżgura l-istabbiltà u l-eżattezza tal-wejfers matul il-proċess tal-manifattura. Il-flatness u l-finitura tal-wiċċ tal-ġarr huma kritiċi biex jiżguraw il-kwalità u l-prestazzjoni tal-wejfer.
4. Stabbiltà tat-temperatura: It-trasportaturi tal-wejfers miksija bil-karbur tat-tantalu jistgħu jżommu stabbiltà f'ambjenti ta 'temperatura għolja mingħajr deformazzjoni jew tillaxka, u jiżguraw l-istabbiltà u l-konsistenza tal-wejfers fi proċessi ta' temperatura għolja.
5. Reżistenza għall-korrużjoni: Il-kisi tal-karbur tat-tantalu għandu reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti, jista 'jirreżisti l-erożjoni ta' kimiċi u solventi, u jipproteġi lit-trasportatur mill-korrużjoni tal-likwidu u tal-gass.
bi u mingħajr TaC
Wara li tuża TaC (lemin)
Barra minn hekk, Semicera'sProdotti miksija bit-TaCjuru ħajja ta 'servizz itwal u reżistenza akbar għat-temperatura għolja meta mqabbla ma'Kisi SiC.Kejl tal-laboratorju wrew li tagħnaKisi tat-TaCjista 'jwettaq b'mod konsistenti f'temperaturi sa 2300 grad Celsius għal perjodi estiżi. Hawn taħt hawn xi eżempji tal-kampjuni tagħna:
