Ċirku tal-Gwida tal-Kisi CVD tal-Karbur tat-Tantalu

Tantalum Carbide CVD Kisi Gwida Ring Dehru Image

Deskrizzjoni qasira:

Il-karbur tas-silikon (SiC) huwa materjal ewlieni fit-tielet ġenerazzjoni ta 'semikondutturi, iżda r-rata ta' rendiment tagħha kienet fattur li jillimita għat-tkabbir tal-industrija. Wara ttestjar estensiv fil-laboratorji ta 'Semicera, instab li TaC sprejjat u sinterizzat m'għandux il-purità u l-uniformità meħtieġa. B'kuntrast, il-proċess CVD jiżgura livell ta 'purità ta' 5 PPM u uniformità eċċellenti. L-użu ta 'CVD TaC itejjeb b'mod sinifikanti r-rata ta' rendiment ta 'wejfers tal-karbur tas-silikon. Nilqgħu diskussjonijietĊirku tal-Gwida tal-Kisi CVD tal-Karbur tat-Tantalu biex jitnaqqsu aktar l-ispejjeż tal-wejfers tas-SiC.

Ibgħat email lilna

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Semicera jipprovdi kisjiet speċjalizzati tal-karbur tat-tantalu (TaC) għal diversi komponenti u trasportaturi.Il-proċess tal-kisi ewlieni tas-Semicera jippermetti kisjiet tal-karbur tat-tantalu (TaC) biex jiksbu purità għolja, stabbiltà ta 'temperatura għolja u tolleranza kimika għolja, ittejjeb il-kwalità tal-prodott tal-kristalli SIC/GAN u saffi EPI (Susceptor TaC miksi bil-grafita), u l-estensjoni tal-ħajja tal-komponenti ewlenin tar-reattur. L-użu tal-kisi TaC tal-karbur tat-tantalu huwa li ssolvi l-problema tat-tarf u jtejjeb il-kwalità tat-tkabbir tal-kristall, u Semicera ssolviet it-teknoloġija tal-kisi tal-karbur tat-tantalu (CVD), laħqet il-livell avvanzat internazzjonali.

Wara snin ta 'żvilupp, Semicera rebaħ it-teknoloġija ta'CVD TaCbl-isforzi konġunti tad-dipartiment tal-R&D. Id-difetti huma faċli li jseħħu fil-proċess tat-tkabbir tal-wejfers tas-SiC, iżda wara l-użuTaC, id-differenza hija sinifikanti. Hawn taħt hemm paragun ta 'wejfers bi u mingħajr TaC, kif ukoll partijiet ta' Simicera għal tkabbir ta 'kristall wieħed.

Kisi tal-karbur tat-tantalu ta 'effiċjenza għolja_ itejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni industrijali u jnaqqas l-ispejjeż tal-manutenzjoni Dehru Image

Parti Tac għat-tkabbir ta 'kristall wieħed

Kisi tal-karbur tat-tantalu kontra l-ilbies_ Ipproteġi t-tagħmir minn xedd u korrużjoni Dehru Image

Grafita b'ċirku miksi b'TaC

bi u mingħajr TaC

Wara li tuża TaC (lemin)

Barra minn hekk, Semicera'sProdotti miksija bit-TaCjuru ħajja ta 'servizz itwal u reżistenza akbar għat-temperatura għolja meta mqabbla ma'Kisi SiC.Kejl tal-laboratorju wrew li tagħnaKisi tat-TaCjista 'jwettaq b'mod konsistenti f'temperaturi sa 2300 grad Celsius għal perjodi estiżi. Hawn taħt hawn xi eżempji tal-kampjuni tagħna: