driegħ għall-immaniġġjar tal-wejferhuwa tagħmir ewlieni użat fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi biex jimmaniġġja, jittrasferixxi u jpoġġiwejfers. Normalment jikkonsisti f'driegħ robotiku, gripper u sistema ta 'kontroll, b'kapaċitajiet preċiżi ta' moviment u pożizzjonament.Armi għall-immaniġġjar tal-wejfersjintużaw ħafna f'diversi links fil-manifattura tas-semikondutturi, inklużi passi tal-proċess bħal tagħbija tal-wejfer, tindif, depożizzjoni ta 'film irqiq, inċiżjoni, litografija u spezzjoni. Il-preċiżjoni, l-affidabbiltà u l-kapaċitajiet ta 'awtomazzjoni tiegħu huma essenzjali biex jiżguraw il-kwalità, l-effiċjenza u l-konsistenza tal-proċess ta' produzzjoni.
Il-funzjonijiet ewlenin tad-driegħ tal-immaniġġjar tal-wejfer jinkludu:
1. Trasferiment tal-wejfers: Id-driegħ tal-immaniġġjar tal-wejfers huwa kapaċi jittrasferixxi b'mod preċiż il-wejfers minn post għall-ieħor, bħal tieħu wejfers minn rack tal-ħażna u tpoġġihom f'apparat tal-ipproċessar.
2. Pożizzjonament u orjentazzjoni: Id-driegħ tal-immaniġġjar tal-wejfer jista 'jippożizzjona u jorjenta b'mod preċiż il-wejfer biex jiżgura allinjament u pożizzjoni korretti għal operazzjonijiet ta' proċessar jew kejl sussegwenti.
3. Ikklampjar u rilaxx: L-armi tal-immaniġġjar tal-wejfers huma ġeneralment mgħammra b'grippers li jistgħu jikklampjaw il-wejfers b'mod sikur u jirrilaxxawhom meta jkun meħtieġ biex jiżguraw trasferiment u mmaniġġjar sikur tal-wejfers.
4. Kontroll awtomatizzat: Id-driegħ tal-immaniġġjar tal-wejfers huwa mgħammar b'sistema ta 'kontroll avvanzata li tista' tesegwixxi awtomatikament sekwenzi ta 'azzjoni predeterminati, ittejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni u tnaqqas l-iżbalji umani.
Karatteristiċi u vantaġġi
1.Dimensjonijiet preċiżi u stabbiltà termali.
2.Ebusija speċifika għolja u uniformità termali eċċellenti, użu fit-tul mhuwiex faċli biex titgħawweġ deformazzjoni.
3.Għandha wiċċ lixx u reżistenza tajba għall-ilbies, u b'hekk timmaniġġja b'mod sikur iċ-ċippa mingħajr kontaminazzjoni tal-partiċelli.
4.Reżistività tal-karbur tas-silikon f'106-108Ω, mhux manjetiku, f'konformità mar-rekwiżiti ta 'speċifikazzjoni kontra l-ESD; Jista 'jipprevjeni l-akkumulazzjoni ta' elettriku statiku fuq il-wiċċ taċ-ċippa.
5.Good konduttività termali, koeffiċjent ta 'espansjoni baxx.
