Is-saff ta 'ossidu termali ta' wejfer tas-silikon huwa saff ta 'ossidu jew saff tas-silika ffurmat fuq il-wiċċ vojt ta' wejfer tas-silikon taħt kundizzjonijiet ta 'temperatura għolja b'aġent ossidanti.Is-saff tal-ossidu termali tal-wejfer tas-silikon ġeneralment jitkabbar f'forn tubu orizzontali, u l-firxa tat-temperatura tat-tkabbir hija ġeneralment 900 ° C ~ 1200 ° C, u hemm żewġ modi ta 'tkabbir ta' "ossidazzjoni mxarrba" u "ossidazzjoni niexfa". Is-saff ta 'ossidu termali huwa saff ta' ossidu "imkabbar" li għandu omoġeneità ogħla u saħħa dielettrika ogħla mis-saff ta 'ossidu depożitat CVD. Is-saff tal-ossidu termali huwa saff dielettriku eċċellenti bħala iżolatur. F'ħafna apparati bbażati fuq is-silikon, is-saff ta 'ossidu termali għandu rwol importanti bħala saff li jimblokka d-doping u dielettriku tal-wiċċ.
Tips: Tip ta 'ossidazzjoni
1. Ossidazzjoni niexfa
Is-silikon jirreaġixxi ma 'l-ossiġnu, u s-saff ta' l-ossidu jimxi lejn is-saff bażali. L-ossidazzjoni niexfa jeħtieġ li titwettaq f'temperatura ta '850 sa 1200 ° C, u r-rata ta' tkabbir hija baxxa, li tista 'tintuża għat-tkabbir tal-bieb tal-insulazzjoni MOS. Meta jkun meħtieġ saff ta 'ossidu tas-silikon ultra-rqiq ta' kwalità għolja, l-ossidazzjoni niexfa hija ppreferuta fuq l-ossidazzjoni mxarrba.
Kapaċità ta 'ossidazzjoni niexfa: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Ossidazzjoni mxarrba
Dan il-metodu juża taħlita ta 'idroġenu u ossiġnu ta' purità għolja biex jinħaraq f'~1000 ° C, u b'hekk jipproduċi fwar ta 'l-ilma biex jifforma saff ta' ossidu. Għalkemm l-ossidazzjoni mxarrba ma tistax tipproduċi saff ta 'ossidazzjoni ta' kwalità għolja daqs l-ossidazzjoni niexfa, iżda biżżejjed biex tintuża bħala żona ta 'iżolament, meta mqabbla ma' ossidazzjoni niexfa għandha vantaġġ ċar huwa li għandha rata ta 'tkabbir ogħla.
Kapaċità ta 'ossidazzjoni mxarrba: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Metodu niexef - metodu imxarrab - metodu niexef
F'dan il-metodu, l-ossiġnu pur niexef jiġi rilaxxat fil-forn ta 'ossidazzjoni fl-istadju inizjali, l-idroġenu jiġi miżjud fin-nofs ta' l-ossidazzjoni, u l-idroġenu jinħażen fl-aħħar biex tkompli l-ossidazzjoni b'ossiġnu pur niexef biex tifforma struttura ta 'ossidazzjoni aktar densa minn il-proċess komuni ta 'ossidazzjoni mxarrba fil-forma ta' fwar ta 'ilma.
4. ossidazzjoni TEOS
| Teknika ta' Ossidazzjoni | Ossidazzjoni mxarrba jew ossidazzjoni Niexfa |
| Dijametru | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Ħxuna tal-Ossidu | 100 Å ~ 15µm |
| Tolleranza | +/- 5% |
| Wiċċ | Ossidazzjoni naħa waħda (SSO) / Ossidazzjoni naħa doppja (DSO) |
| Forn | Forn tubu orizzontali |
| Gass | Idroġenu u Ossiġenu gass |
| Temperatura | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Indiċi rifrattiv | 1.456 |
